[发明专利]准分子灯装置

说明书

技术领域

本发明涉及被使用于紫外线照射处理的准分子灯装置，尤其涉及具备 测定从准分子灯所放射的紫外线的光传感器的准分子灯装置。

背景技术

近年来，例如在液晶显示面板的玻璃基板利用紫外线照射的清洗工序 等中，使用具备放射波长200nm以下的真空紫外光、例如172nm的真空紫 外光的准分子灯的准分子灯装置。在这些准分子灯装置中，由于真空紫外 光在空气中衰减，因而在成为筐体的开口部的由半导体基板或液晶基板等 的工件所形成的被照射物与准分子灯之间，设置由石英玻璃所形成的窗材， 通过窗材而将真空紫外光照射在被照射物。然而，石英玻璃所形成的窗材 价格高，因而如专利文献1所示，采用拆除石英玻璃所形成的窗材，使被 照射物与准分子灯接近的构造。

一方面，准分子灯由于随着经过其使用时间的劣化，因而所照射的真 空紫外光的强度会逐渐地降低。当所照射的真空紫外光的强度降低，则清 洗被照射物的表面的能力也会降低。所以，随时测定来自准分子灯的真空 紫外光的强度，使得强度不会降低至预定值以下，进行提高灯输入的反馈 控制，或是强度无法输出至预定值以上时，则必须更换准分子灯。

在专利文献1所述的准分子灯装置，记载有设置检测出来自准分子灯 的真空紫外光的强度的光传感器。该光传感器例如将172nm的紫外线由萤 光体变换成可视光，并以光电二极管检测出可视光而变换电信号得到输出。

图7是表示专利文献1所述的沿着垂直于准分子灯101的长边方向的 方向的准分子灯装置100的概略构成的剖面图，图8是表示图7所示的准 分子灯101的构成的立体图。

如图8所示，具备长方体的放电室102的准分子灯101，垂直于灯的长 边方向的方向的剖面为长方形，而在放电室102的上下两面以沿着放电室 102的长边方向延伸的方式设有外部电极103，104。在该例子中，设于上 面的一方的外部电极103被构成板状，而设于下面的另一方的外部电极104 被构成网状。另外，在放电室102的上面，设有相对于光传感器105的板 状地构成的外部电极103的一部分被削除的开口部106。

如图7所示，准分子灯101以网状地构成的外部电极104相对于被照 射物W的方式，设置多支、例如图示那样设置3支于准分子灯装置100的 筐体107的内部。筐体107被构成一面被开口的箱状，在与其开口面平行 的方向搬运被照射物W。在相对于筐体107的上述开口面的一面，设有导 出导入测定来自准分子灯101的真空紫外光的光传感器105的贯通孔108， 该贯通孔108由于导入导出光传感器105，因而设于相对于准分子灯101 的开口部106的位置。

从筐体107的贯通孔108导出导入的光传感器105，设有：从准分子灯 101照射真空紫外光的萤光体109，及检测出通过萤光体109被变换的可视 光的光电二极管110。光传感器105在检测出来自准分子灯101的真空紫外 光时，则通过气缸111从筐体107的贯通孔108被导入至筐体107的内部， 朝准分子灯101的开口部106移动一定量而被近接。近接于开口部106的 光传感器105将真空紫外光通过萤光体109变换成可视光，而通过光电二 极管110检测出可视光。若检测结束，则光传感器105通过气缸111，再经 贯通孔108而被导出至筐体107的外部。该光传感器105的导出导入，通 过被连接于光传感器105的气缸111进行。

专利文献1：日本特开2004-97986号公报

但是，该准分子灯装置100由于筐体107的一面被开放，因而筐体107 的内部成为大气状态。所以，准分子灯101点灯时，通过准分子灯101所 照射的真空紫外光与大气中的氧气进行反应，因而大气中的氧气浓度会变 化。一方面，随着利用未予图示的搬运机构搬运被照射物W，筐体107的 内部发生氧气浓度有变化的大气的对流C。所以，由于该对流C，使得光 传感器105与准分子灯101之间的氧气浓度会变化，而从准分子灯101所 放射的真空紫外光对氧气的吸收量会变化，通过光传感器105所检测出的 真空紫外光对氧气的吸收量会变化。