[发明专利]一种激光两坐标装置

权利要求书

1.一种激光两坐标装置，包括基座(1)，其特征在于基座(1)平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台(3、4)，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台(5)，基座(1)置于4个气浮脚支承(2)上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置(17)和光学成像装置(16)。

2.按权利要求1所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的共面气浮位移平台由X位移平台(3)和Y位移平台(4)交叉嵌合并共同以基座(1)表面为支撑面。

3.按权利要求2所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的基座(1)、X位移平台(3)和Y位移平台(4)均有相对应的可透光的镂空孔或条状孔，且基座(1)下方设有透射光装置(6)。

4.按权利要求1或2所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的驱动装置分别设于基座(1)的侧壁，该驱动装置由电机(8)的电机轴(9)与至少一个摩擦轮(10)夹持一光杆(11)，光杆(11)一端的气浮轴承(12)与X位移平台(3)或Y位移平台(4)连接。

5.按权利要求4所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的摩擦轮(10)另一侧设有一对摩擦轮(10)施加平行压力的水平柔性铰链(18)，水平柔性铰链(18)另一侧与一压紧螺母(19)接触，在电机轴(9)的另一侧设有对称设置的二个平衡轮(20)。

6.按权利要求5所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的激光测量装置(17)包括激光头、分光镜、转向镜、干涉镜(13)、反射镜(14)和参考镜(15)构成，光学成像装置(16)设在零膨胀玻璃平台(5)的上方。

7.按权利要求6所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的激光测量装置形成的光路与置于玻璃平台(5)上的被测件表面的高度同高，且激光光路分成三路，其中两路为X、Y测长光路，另一路与前述的X测长光路或Y测长光路平行设置，可实时监控X、Y位移平台(3、4)相对于Z轴的旋转量。

8.按权利要求7所述的激光两坐标装置，其特征在于所述的光学成像装置一侧设有Z轴调焦装置(7)，光学成像装置(16)包括CCD、双光管、物镜，照明方式有反射式和透射式两种，都是通过光纤将光源引入到反射或透射镜组，形成平行光照明。