[发明专利]头悬架及制造头悬架的方法

权利要求书

1.一种头悬架，具有压电元件、基底和载重梁，其中所述压电元件响应 于施加到其上的电压而变形，所述基底具有作为用于附接所述压电元件的附接 部件的开口，所述载重梁被固定到所述基底从而所述载重梁的前端根据所述压 电元件的变形而在摆动方向移动，所述头悬架包括：

在所述开口中形成的支撑面，配置用于支撑所述压电元件的电极表面；以 及

在所述支撑面上形成的多个粘合剂层，用于将所述压电元件固定到所述支 撑面，与所述支撑面接触的一个粘合剂层是电绝缘的。

2.一种制造头悬架的方法，所述头悬架具有压电元件、基底和载重梁， 其中所述压电元件响应于施加到其上的电压而变形，所述基底具有作为用于附 接压电元件的附接部件的开口，所述载重梁被固定到所述基底从而所述载重梁 的前端根据所述压电元件的变形而在摆动方向移动，所述方法包括：

一个接一个地在所述附接部件处施加粘合剂并使所述粘合剂硬化，以将所 述压电元件固定到所述附接部件，至少一个粘合剂是电绝缘的，该粘合剂第一 次在所述附接部件处施加并硬化。

3.根据权利要求2所述的方法，其中：

一个接一个地在所述附接部件处施加并硬化的粘合剂每一个均是电绝缘 的。

4.一种制造头悬架的方法，所述头悬架具有压电元件、基底和载重梁， 其中所述压电元件响应于施加到其上的电压而变形，所述基底具有作为用于附 接压电元件的附接部件的开口，所述载重梁被固定到所述基底从而所述载重梁 的前端根据所述压电元件的变形而在摆动方向移动，所述方法包括：

将用于电绝缘的非导电粘合剂施加到所述附接部件；

暂时地硬化所述非导电粘合剂，以形成绝缘粘合剂层；

将用于固定所述压电元件的固定粘合剂施加到所述绝缘粘合剂层上；

将所述压电元件放置在施加到所述附接部件的所述固定粘合剂上；

在将所述压电元件放置在所述固定粘合剂上之后，暂时地硬化所述固定粘 合剂，以形成固定粘合剂层；以及

完全地硬化所述绝缘粘合剂层和固定粘合剂层，以将所述压电元件固定到 所述附接部件。

5.根据权利要求4所述的方法，其中：

所述非导电粘合剂和固定粘合剂是通过紫外线和热被硬化的粘合剂；以及

通过紫外线执行暂时地硬化所述非导电粘合剂和暂时地硬化所述固定粘 合剂。

6.根据权利要求4所述的方法，其中：

所述非导电粘合剂和固定粘合剂是通过紫外线和热被硬化的粘合剂；以及

通过热执行完全地硬化所述绝缘粘合剂层和所述固定粘合剂层。

7.根据权利要求4所述的方法，其中：

所述固定粘合剂是导电粘合剂和非导电粘合剂之一。

8.根据权利要求4所述的方法，在暂时地硬化所述固定粘合剂之后还包 括：

施加粘合剂以填充所述压电元件和所述附接部件之间的间隙；以及

暂时地硬化在所述间隙中填充的所述粘合剂，

在所述间隙中填充的所述粘合剂在完全地硬化所述绝缘粘合剂层和固定 粘合剂层时被完全地硬化，从而将所述压电元件固定到所述附接部件。

9.根据权利要求8所述的方法，其中：

施加到所述间隙的所述粘合剂是非导电粘合剂。