[发明专利]光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

权利要求书

1.一种光学照明装置，适用于将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括： 

光学元件，利用有旋光性的结晶光学材料而形成； 

其中，所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致； 

所述光学元件具有：在沿着光的透过方向的方向中、厚度互异的多个部分。 

2.根据权利要求1所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述多个部分沿着将所述光轴进行横切的面内而进行配置，所述多个部分在与所述光轴直交的一个平面整齐排列，各个部分的靠近所述掩膜侧之面为平面状、且靠近所述光源侧之面因各部分厚度相异形成凹凸状。 

3.根据权利要求2所述的光学照明装置，其特征在于： 

沿着所述多个部分中的第1部分的光的透过方向的方向中的厚度、及沿着与所述多个部分中的第1部分不同的第2部分的光的透过方向中的厚度，设定成： 

使直线偏光射入时，从所述第1部分射出的直线偏光的偏光方向、与从所述第2部分射出的直线偏光的偏光方向为相异。 

4.根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于： 

从所述第1部分射出的所述直线偏光的所述偏光方向、与从所述第2部分射出的直线偏光的偏光方向互相垂直。 

5.根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于： 

将通过所述第1部分的光束作为第1光束，且通过所述第2部分的光束作为第2光束时，所述第1光束及所述第2光束在所述光学照明装置的照明瞳面通过相异的区域。 

6.根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述第1部分与所述第2部分是一体地形成。 

7.根据权利要求1所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述光学元件的所述多个部分为：沿着光的透过方向的方向中厚度互异的多种基本元件。 

8.根据权利要求7所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述多种基本元件是沿着将所述光轴进行横切的面内而进行设置。 

9.根据权利要求8所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述多种基本元件包括：第1基本元件及第2基本元件，其中，所述第2基本元件具有与所述第1基本元件相异的厚度。 

10.根据权利要求1所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述光学元件的所述多个部分具备： 

第1基本元件、以及 

第2基本元件，具有与所述第1基本元件为相异的厚度； 

所述第1基本元件的厚度与所述第2基本元件的厚度设定成： 

使直线偏光射入时，从所述第1基本元件射出的直线偏光的偏光方向、与从所述第2基本元件射出的直线偏光的偏光方向为彼此相异。 

11.根据权利要求10所述的光学照明装置，其特征在于： 

从所述第1基本元件射出的所述直线偏光的所述偏光方向、与从所述第2基本元件射出的所述直线偏光的所述偏光方向互相垂直。 

12.根据权利要求9至11中任一权利要求所述的光学照明装置，其特征在于： 

将通过所述第1基本元件的光束作为第1光束，且通过所述第2基本元件的光束作为第2光束时，所述第1光束及所述第2光束在所述光学照明装置的照明瞳面通过相异的区域。 

13.根据权利要求12所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述第1光束通过所述照明瞳面的区域为第1区域，且所述第2光束通过所述照明瞳面的区域为第2区域，所述第1区域与所述第2区域的位置被决定在所述照明瞳面的以所定点为中心的轮胎状区域的至少一部分， 

所述第1光束与所述第2光束具有：以所述轮胎状区域的圆周方向为偏光方向的直线偏光为主成份的偏光状态。 

14.根据权利要求13所述的光学照明装置，其特征在于： 

所述照明瞳面上的光强度分布具有：与所述轮胎状区域为同一形状的外形。