[发明专利]太阳能电池组件的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池组件的制造方法，该制造方法包括下列步骤：

将第一网罩设置于基板的上方，其中所述第一网罩包括多个第一开口，所述第一开口以阵列式排列，用于定义多个第一镀膜区域；

将多个底部电极分别形成于所述第一镀膜区域，其中所述底部电极位于所述基板的上方；

移除所述第一网罩；

将第二网罩设置于所述底部电极的上方，其中所述第二网罩包括多个第二开口，所述第二开口以阵列式排列，用于定义多个第二镀膜区域；

将多个光电转换单元分别形成于所述第二镀膜区域，其中所述光电转换单元位于所述底部电极的上方，且每一个光电转换单元包括多元金属硫族元素化合物薄膜，所述多元金属硫族元素化合物薄膜是通过真空溅镀过程对多元金属硫族元素化合物的单一靶材进行溅镀从而形成于所述底部电极的上方，且所述真空溅镀过程的工作温度介于100℃与400℃之间；

移除所述第二网罩；

将第三网罩设置于所述光电转换单元的上方，其中所述第三网罩包括多个第三开口，所述第三开口以阵列式排列，用于定义多个第三镀膜区域；

将多个顶部电极分别形成于所述第三镀膜区域，其中所述顶部电极位于所述光电转换单元的上方；以及

移除所述第三网罩。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述制造方法还包括下列步骤：

将抗反射膜形成于所述顶部电极的上方，并覆盖所述基板、底部电极和光电转换单元。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，所述制造方法还包括下列步骤：

将封装胶膜形成于所述抗反射膜的上方，并覆盖所述基板。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一、第二和第三网罩由金属制成。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二网罩的熔点为400℃以上。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一、第二和第三网罩分别包括至少一对位孔，用于与所述基板进行精密地对位。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述底部电极包括单层的钼金属。

8.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述真空溅镀过程的工作温度介于250℃与300℃之间。

9.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述多元金属硫族元素化合物含有铜、铟、镓和硒元素。

10.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述多元金属硫族元素化合物含有铜、铟和硒元素。