[发明专利]用于真空成形基片的真空成形装置和方法

权利要求书

1.一种用于在涂有树脂的基片上形成光学图案的真空成形装置，所述装置包括具有侧壁的真空室本体，以及分别用于密封所述侧壁的顶部和底部的盖子和底板，

其中，所述真空室本体内部配置有用于将光学图案转印到基片上的成形模具，以及能上升和下降的成形模具框，用于固定所述成形模具的边缘，且

由于所述成形模具框的下降，由所述盖子、侧壁和底板密封的空间被分隔为上腔和下腔。

2.如权利要求1所述的真空成形装置，其中，所述成形模具形成所述上腔和所述下腔之间的屏障。

3.如权利要求1所述的真空成形装置，其中，所述底板附有用于固定所述基片的支架。

4.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，所述底板被配置为能够分离的，且能上升和下降，且起到将位于所述板的最大上升位置处的侧壁的底部密封的作用。

5.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，所述上腔和所述下腔能单独控制压力。

6.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，所述真空室本体具有分别安装于所述上腔和所述下腔内的通风管路。

7.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，所述成形模具由柔性且UV可透的塑性材料制成。

8.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，所述盖子由UV可透的材料制成。

9.如权利要求1或2所述的真空成形装置，其中，在所述盖子的上侧设置紫外线灯台。

10.如权利要求4所述的真空成形装置，其中，所述侧壁具有L形横截面，以防止所述成形模具框的上升和所述底板的上升之间的相互干扰。

11.一种用于在基片上形成光学图案的真空成形方法，所述方法包括：

a)用树脂涂布基片；

b)将所述基片放置在真空室内，并抽真空；

c)在真空状态将涂布树脂的基片的一侧与成形模具接触；

d)保持所述成形模具的上方区域和下方区域与彼此之间的气密状态；以及

e)利用所述成形模具作为边界产生压力差，以由此使所述成形模具粘附到所述基片上。

12.如权利要求11所述的真空成形方法，其中，在所述步骤(e)中，保持所述成形模具下方区域的真空状态，并释放所述成形模具上方区域的真空。

13.如权利要求11或12所述的真空成形方法，在所述步骤(e)之后，该方法还包括：

f)固化所述树脂；

g)释放所述成形模具下方区域的真空；和

h)将所述成形模具和所述基片分离。

14.如权利要求11或12所述的真空成形方法，其中，在所述步骤(e)中，所述成形模具的上方区域承受大气压。

15.如权利要求11或12所述的真空成形方法，其中，在所述步骤(b)中，将该真空的压力设置在10^-3托至100托。

16.如权利要求11或12所述的真空成形方法，其中，所述树脂为UV树脂。

17.如权利要求11或12所述的真空成形方法，其中，所述成形模具由柔性且UV可透的塑性材料制成。

18.如权利要求16所述的真空成形方法，其中，所述步骤(a)通过在真空中实施丝网印刷处理实现。

19.如权利要求16所述的真空成形方法，其中，使用配置有用于在丝网上以允许在基片上涂布1至10次的量喷射UV树脂的精密喷嘴的丝网印刷装置来实施所述步骤(a)。

20.如权利要求17所述的真空成形方法，其中，在所述步骤(e)之后，用紫外线辐射穿过所述成形模具照射所述基片。