[发明专利]将从样本发出的第一和第二部分图像束合并为合成图像束的光学系统

权利要求书

1.一种光学系统，用于将第一和第二部分图像束(112、122)合并 为合成图像束(102)，其中每个部分图像束分别从各自的样本(10、20) 发出，该光学系统用在用于检查已准备好的样本的光学仪器中，

其中设置有阻挡装置(103；400；500；600)，其包括两个可移动阻 挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)，该两个阻挡元件中的一 个用于所述第一部分图像束(112、122)，另一个用于第二部分图像束(112、 122)，该两个阻挡元件中的每个阻挡元件具有一个或多个阻挡区域(301a， 301b；911，912)，其中至少一个阻挡区域(301a，301b；911，912)通过所述阻 挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)的移动能够被带入具有 部分图像束(112，122；302)的工作位置，以便改变各个部分图像束(112、 122；302)在合成图像束(102)中的面积比例，

其特征在于所述阻挡装置(103；400；500；600)包括用于连接所述两个 阻挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)的可移动布置的连接 装置(104；401；501；601)，

其中所述部分图像束(112，122；302)在合成图像束(102)中的各 自的面积比例通过所述连接装置(104；401；501；601)的移动而改变。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述阻挡装置(103；400；500； 600)能够被带入所述阻挡元件的第一位置，在该位置处所述连接装置(104； 401；501；601)的移动增加了所述第一部分图像束(122)在合成图像束 (102)中的面积比例并且减少了所述第二部分图像束(112)在所述合成 图像束(102)中的面积比例。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其中设置有手动驱动的第一调整 装置(700，235；404；504；604)以便使所述连接装置(104；401；501；601) 发生移动。

4.根据权利要求1或2所述的光学系统，其中所述阻挡装置(103；400； 500；600)包括至少一个对准装置(922，932)，利用所述对准装置使得所述阻 挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)可彼此对准。

5.根据权利要求4所述的光学系统，其中所述阻挡装置(103；400；500； 600)包括至少一个对准装置(922，932)，用于将不同阻挡元件(115，125；300； 402，403；502，503；602，603)的阻挡区域(301a，301b；911，912)的相对取向 彼此相对对准。

6.根据权利要求4所述的光学系统，其中用户从外部可接触到所述至 少一个对准装置(922，932)。

7.根据权利要求4所述的光学系统，其中所述阻挡装置(103)包括 至少一个第一对准装置(932)，用于使不同阻挡元件(115，125)的所述阻挡 区域(911)的边缘(903)彼此相对移位。

8.根据权利要求7所述的光学系统，其中所述阻挡装置(103)包括 至少一个第二对准装置(922)，用于使不同阻挡元件(115、125)的所述 阻挡区域(911)的边缘(103)彼此相对倾斜。

9.根据权利要求8所述的光学系统，其中所述至少一个第一对准装 置(932)和所述至少一个第二对准装置(922)设置在同一阻挡元件(115) 上。

10.根据权利要求2或3所述的光学系统，其中所述连接装置(104) 的运动是绕旋转轴线(A)的旋转运动。

11.根据权利要求10所述的光学系统，其中所述旋转轴线(A)垂直 于该连接装置(104)的纵向轴线延伸。

12.根据权利要求11所述的光学系统，其中设置有偏心装置(700) 以便绕旋转轴线(A)旋转所述连接装置(104)。