[发明专利]透明导电性积层体的制造方法无效
| 申请号: | 200910171016.8 | 申请日: | 2009-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN101996713A | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
| 发明(设计)人: | 麦建进;王湧锋;尹瑞堂;王剀弘 | 申请(专利权)人: | 嘉威光电股份有限公司;麦建进 |
| 主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 过晓东 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透明 导电性 积层体 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种透明导电性积层体的制造方法,特别是结晶化透明导电层的成形方法。
背景技术
人们熟知透明导电膜早期为于玻璃上形成一氧化铟锡层,而成为所谓的导电性玻璃,但玻璃材质的可挠性、加工性较差,且耐冲击及轻质化表现亦不佳。故现在透明导电膜已渐被以聚对苯二甲酸乙二酯(PET)为主的各种塑料所取代。
目前市售的前述透明导电膜结构中,具有一个前述塑料材质的透明基材,在所述基材表面有复数层的积层体;
如图1所示,透明导电膜1具有一个由透明塑料材质制成的基材11,该基材11为有机聚合物形成的透明薄板如PC、PET......,在基材11表面有复数层的积层体12,该积层体12至少包含导电层121、硬质涂层122及接着处理层123。其中导电层121用于导通电流,一般选用铟锡氧化物(ITO)的材料为主,并以真空蒸镀法、溅镀法、离子被覆法、喷雾热分解法、化学镀覆法、电镀法或它们的组合法形成,其中优选真空蒸镀法、溅镀法。
另外,为了得到更好的光穿透度、电阻率下降等光学和电性特性表现,对经镀膜完成的导电层121会再进行加工处理,而一般的做法是进行加热处理,使该原非晶导电层121中ITO转成结晶化之态样,如此,借由已结晶化的ITO,其光穿透度将会变好,电阻率也会下降,从而可具备较好的光学及电性特性表现,对导电层121乃至于对整体透明导电膜1而言其信赖性也会提升,如图2、3、4所示。然而,加热处理虽可达成将原非晶导电层121中的ITO转化成结晶化态样的目的,但在对导电层121的ITO加热过程中,另一方面高温会对基材11产生不良之影响,如图5所示,常见的有机聚合物形成的基材11对温度的物理特性有其一定的反应表现,因此除非在加热过程中很小心地控制基材11的张力,否则经加热后的基材11容易造成应力残留,导致翘曲及膨胀系数异方向性等问题。此为目前相关从业者亟待解决的重要课题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种透明导电性积层体的制造方法,其主要是指透明导电膜中导电性积层体的制造方法,透明导电膜至少包含一有机聚合物基材,基材的表面形成至少一积层体,且积层体中至少包含一由铟锡氧化物(ITO)形成的导电性积层,而为一导电层。将形成有ITO导电层的透明导电膜经特定波长的光源施以照射,使其导电层的ITO成结晶化,使ITO导电层之光穿透度变佳、电阻率下降,从而可具备较好的光学及电性特性表现。
其中,为使ITO导电层受光照射时,不至于使基材本身因光照产生变性问题,该照射的光源体应选择特定单一波长或特定范围宽带谱的光源,而该照射的光源体的波长应小于等于350nm(≤350nm),或在大于等于1000nm至小于等于3000nm波长之间(1000nm≤X≤3000nm)。因此,用所述光波长的光源体照射透明导电膜时,该光源的能量将会被ITO导电层所吸收,但对于由有机聚合物(PC、PET)形成的基材而言,该光源却是高穿透性的,其能量并不被基材所吸收,故基材自然不会产生变性问题。
附图说明
图1为已知的透明导电膜结构示意图。
图2为ITO膜结晶性与热处理温度的关系图。
图3为ITO膜穿透度与热处理温度的关系图。
图4为ITO膜电阻率与热处理温度的关系图。
图5为常见有机聚合物基材(PC、PET...等)物理特性表。
图6为本发明的透明导电膜结构示意图。
图7为本发明方法的流程示意图。
图8为ITO膜在UV/Vis/IR等波段其穿透、反射与吸收的光谱图。
图9为不同表面粗度之AG或HC PET在等UV/Vis/IR波段的穿透光谱。
具体实施方式
本发明是有关一种透明导电性积层体的制造方法。主要是指透明导电膜中导电性积层体的制造方法,透明导电膜2至少包含一有机聚合物基材21,基材21的表面形成至少一积层体22,其中有机聚合物基材21可以包含PC、PET...等等,该积层体22中至少一层可以是铟锡氧化物(ITO)材料为主所形成的导电层221积层,该导电层221的形成可以是通过真空蒸镀法、溅镀法、离子被覆法、喷雾热分解法、化学镀覆法、电镀法或它们的组合法形成,其中优选真空蒸镀法、溅镀法,基材21的表面上形成导电层221之后,再用特定单一波长或特定范围宽带谱的光源施以照射,而使导电层221的ITO成结晶化,如图6、7所示。
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