[发明专利]用于压电元件的电连接结构、压电致动器、头悬架、以及用于导电部件的电连接结构

权利要求书

1.一种用于压电元件的电连接结构，所述压电元件包括在压电致动器中， 所述压电致动器被布置在基底和磁头之间并且根据所述压电元件的变形而精 密地在摆动方向移动磁头，所述电连接结构包括：

电极，布置在所述压电元件上；

端子，至少具有电绝缘层和置于电绝缘层上的配线，所述端子配置用于向 所述电极提供电力；

通孔，至少穿过所述电绝缘层而在所述端子中形成；

液体塞，围绕所述通孔而布置，当所述电极和所述端子被设置为彼此朝向 并且所述电绝缘层无配线一侧朝向所述压电元件时，所述液体塞布置在所述电 极和所述端子之间，将所述电极和所述端子之间的间隙减小到可以产生毛细现 象的宽度；以及

液体导电粘合剂，被注入所述通孔中以将所述电极和所述配线彼此电连 接。

2.根据权利要求1所述的电连接结构，其中：

所述通孔穿过所述电绝缘层和所述配线而在所述端子中形成。

3.根据权利要求1所述的电连接结构，其中：

所述液体塞是围绕所述通孔形成的环形部件，从而当所述电极和端子被设 置为彼此朝向时布置在所述电极和所述端子之间。

4.根据权利要求1所述的电连接结构，其中：

所述液体塞包括沿所述通孔的外围形成的多个离散部件，从而当所述电极 和端子被设置为彼此朝向时布置在所述电极和所述端子之间。

5.根据权利要求4所述的电连接结构，其中：

从由从环形材料径向切割的部件、点状的部件、以及两者的结合而组成的 组中选择形成所述液体塞的所述离散部件。

6.根据权利要求1所述的电连接结构，其中：

所述液体塞是和与所述端子连续的导电基底分离的部件，并且所述液体塞 被附接到所述端子和所述压电元件的所述电极中的一个。

7.根据权利要求1所述的电连接结构，其中：

所述端子包括导电基底、在所述导电基底上形成的电绝缘层、以及置于所 述电绝缘层上的配线；以及

通过在朝向所述压电元件的所述电极的所述端子的区域中进行蚀刻来去 除所述导电基底。

8.根据权利要求7所述的电连接结构，其中：

当通过在朝向所述压电元件的所述电极的所述端子的区域中进行蚀刻来 去除所述导电基底时，通过保留围绕所述通孔的所述导电基底来形成所述液体 塞。

9.一种压电致动器，包括根据权利要求1所述的电连接结构。

10.一种头悬架，包括：

底座；

载重梁；以及

权利要求9所述的压电致动器，被配置成在摆动方向精密地移动所述载重 梁的前端。

11.一种用于导电部件的电连接结构，包括：

电极，布置在脆的所述导电部件上；

端子，至少具有电绝缘层和置于电绝缘层上的配线，所述端子配置用于向 所述电极提供电力；

通孔，至少穿过所述电绝缘层而在所述端子中形成；

液体塞，围绕所述通孔布置，当所述电极和所述端子被设置为彼此朝向并 且所述电绝缘层无配线一侧朝向所述导电部件时，所述液体塞布置在所述电极 和所述端子之间，将所述电极和所述端子之间的间隙减小到可以产生毛细现象 的宽度；以及

液体导电粘合剂，被注入所述通孔中以将所述导电部件的所述电极和所述 配线彼此电连接。

12.根据权利要求11所述的电连接结构，其中：

所述通孔穿过所述电绝缘层和所述配线而在所述端子中形成。