[发明专利]平板显示装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种平板显示装置及其制造方法。

背景技术

场发射显示装置是一种用于显示多种图像的装置，其中将电压施加到在阳极板和阴极板之间形成的高真空区域，并且自电子发射器件区域发射的电子辐射到荧光体(phosphor)区域，以便于使荧光体能够发射光。因此，在场发射显示装置中，重要的是使阳极板和阴极板之间的耐电压特性稳定。

场发射显示装置中存在的异物是使场发射显示装置的耐电压特性极大劣化的原因之一。对于从外部进入的异物，在根据其中可以尽可能低地减少异物的进入的制造方法和/或制造环境执行用于制造场发射显示设备的工艺时，可以采取适当的对策。

然而，在用于制造场发射显示装置的工艺中，在某些情况中在铝制成的阳极上可能生成须状物(whiskers)或丘状物(hillocks)，其是一种类型的突起。顺便提及，针形突起被称为须状物，并且团块突起被称为丘状物。此外，当在实际操作过程中将电压施加到场发射显示装置时，在某些情况中上述突起可能导致放电。此外，由于在实际操作过程中施加到场发射显示装置的电压生成的电场引起的静电力，突起被剥离形成异物，由此使场发射显示装置的耐电压特性极大劣化。

已经确信，在用于制造场发射显示装置的工艺的热处理步骤中，这些须状物和丘状物是由于由铝制成的阳极和其底层之间的热膨胀的差异引起的压应力而形成的。

作为减少阳极上的须状物和丘状物的生成的技术，例如，在日本专利公开No.2003-31150中已公开了一种技术，其中通过使用氧化物膜或氮化物膜覆盖阳极减小放电的生成。然而，未描述引起放电的须状物和丘状物的生成。

此外，在日本专利公开No.2007-128701中，已公开了一种技术，其中将铝和铝合金至少之一用于阳极，并且其中阳极的外围部分的平均厚度被设定为小于其中心部分的平均厚度。结果，尽管减少了须状物和丘状物的生成，但是制造方法变得复杂，并且因此需要一种简单的制造方法。

发明内容

本发明提供了一种平板显示装置，其具有可以减少阳极上的须状物和丘状物的生成并且可以减少耐电压特性的劣化和放电生成的结构，相比于通过现有技术形成的结构，该结构的配置是简单的。

根据本发明的一个方面，提供了一种平板显示装置，其包括：阴极板，该阴极板具有其上设置多个电子发射区域的表面；和阳极板，该阳极板具有其上设置多个荧光体区域的表面，其中其上设置电子发射区域的表面和其上设置荧光体区域的表面被设置为相互面对，在它们之间设有距离。在上述平板显示装置中，荧光体区域每一均覆盖有阳极，并且阳极具有包括铝层(第一层)、氧化铝层(第二层)和铝层(第三层)的三层层叠结构，这三个层从荧光体区域侧开始按照上述顺序层叠。

此外，阳极具有范围为70～300nm的厚度。

此外，根据本发明的另一方面的用于制造平板显示装置的方法是用于制造上述平板显示装置的方法，并且该方法包括如下步骤(a)～(f)：(a)使用树脂层覆盖设置在阳极板基板的一个表面上的荧光体区域；(b)在树脂层上形成铝层(第一层)，(c)在铝层(第一层)上形成氧化铝层(第二层)；(d)在氧化铝层(第二层)上形成铝层(第三层)；(e)通过烘焙移除树脂层以获得阳极板；和(f)将在步骤(e)中获得的阳极板的其上设置荧光体区域的表面和阴极板的其上设置电子发射区域的表面设置为相互面对，由此获得平板显示装置。

此外，在上述制造方法中，在步骤(c)中，可以通过使铝层(第一层)暴露于空气形成氧化铝层(第二层)。

此外，在步骤(b)和(d)至少之一中，可以通过真空淀积方法形成铝层(第一和第三层至少之一)。

根据本发明，可以减少在阳极处引起放电的须状物和丘状物的生成，并且难以通过实际操作过程中施加电压发生放电。此外，平板显示装置可被提供为具有卓越的耐电压特性、稳定的操作特性、高可靠性和长寿命。

从下面参考附图的示例性实施例的描述中，本发明的另外的特征将是显然的。

附图说明

图1是示出平板显示装置的透视图。

图2是示出阳极板的横截面图。

图3是示出用于形成阳极的方法的示意图。

具体实施方式

根据本发明的实施例的平板显示装置具有：阴极板，其中在支撑部件上提供多个电子发射区域；和阳极板，其中提供多个荧光体区域和阳极。阴极板和阳极板通过沿其外围提供的支撑框相互接合以在阳极板和阴极板之间具有预定距离。