[发明专利]多束激光二极管

说明书

技术领域

本发明涉及从一个发光装置辐射多束激光的多束激光二极管。

背景技术

在多束激光二极管中，所希望的是有利于散热的结下(junction-down) 组装。然而，在光束间隔很小的情况下，电极的宽度和焊料层的宽度变得很 小，并且由于下述原因难于实现结下组装。就是说，在结下组装中，在元件 侧提供条状的接触电极，并且在基台(支撑)侧提供与元件侧类似的条状的 焊料层。通过将接触电极与焊料层接合，获得电接触。在该方法中，根据焊 料接合的安装精度，例如，存在下面的问题：1、泄漏；2、散热特性下降； 以及3、给条施加不均匀的焊料接合应力。

“1、泄漏”产生于在接合中焊料延伸到相邻的接触电极的情况。随着 节距的变小或者光束数量的变大，这样的泄漏变为很大的缺点。“2、散热特 性下降”由光束间焊料接合的差别引起。由于电极的宽度和焊料层的宽度变 得较小，安装精度的公差范围变得很小。因此，即使安装位置略微移位，与 焊料的接合状态根据每个像素而不同。“3、给条施加不均匀的焊料接合应 力”也由安装位置移位引起。如果焊料接合而相对于条留下位移，则给条施 加不均的接合应力，这影响偏振特性和可靠性。

为了解决前述缺点，例如，在日本未审查专利申请公开No.2000-269601 中，揭示了下面的结构。在该结构中，在结下组装的情况下，通过在多束激 光二极管设备的发光元件之间提供高电阻隔离区域，防止了因层间绝缘膜在 接合中的损坏引起的发光元件之间的短路。此外，例如，在日本未审查专利 申请公开No.2006-24665中，揭示了下面的结构。在该结构中，在结下组装 的状态下，在覆盖条的第一电极上形成绝缘膜，在绝缘膜中提供的开口中形 成第二电极，并且由此第一电极和第二电极电连接，而第二电极通过焊料接 合到基台。

发明内容

然而，在日本未审查专利申请公开No.2000-269601应用于结下组装的 情况下，焊料层和条上的电极没有接合，并且存在散热特性下降的问题，留 下了改进的空间。此外，在日本未审查专利申请公开No.2006-24665中，存 在给条施加焊料接合应力的缺点，这影响偏振特性，并且必须保证高精确的 安装位置精度。

考虑到这样的缺点，在本发明中，所希望的是提供这样的多束激光二极 管，其在结下组装的情况下能够改善散热特性。

根据本发明的实施例，所提供的多束激光二极管包括下面的成分A至F：

A：激光二极管元件，具有多个突出条；

B：接触电极，分别提供给多个突出条；

C：多个焊盘电极，提供在该激光二极管元件的形成该多个突出条的面 上并避开该多个突出条；

D：配线电极，将该接触电极连接到该多个焊盘电极的一个或多个；

E：第一绝缘膜，在该接触电极上；以及

F：导热层，由提供在该第一绝缘膜上的金属构成。

在该多束激光二极管中，接触电极通过配线电极连接到焊盘电极，并且 覆盖有第一绝缘膜。因此，接触电极通过焊盘电极和配线电极驱动，而不直 接将接触电极与焊料层接合。此外，在第一绝缘膜上提供由金属构成的导热 层。因此，激光二极管元件中产生的热通过导热层释放到焊料层和支撑。

根据本发明实施例的多束激光二极管，接触电极通过配线电极连接到焊 盘电极，并且覆盖有第一绝缘膜。因此，能够实现电连接而不直接将接触电 极与焊料层接合。此外，在第一绝缘膜上提供由金属构成的导热层。因此， 通过将导热层接合到焊料层，在结下组装的情况下，能够改善散热特性。

本发明其它的和进一步的目标、特征和优点将通过下面的描述而变得更 加明显易懂。

附图说明

图1是图解根据本发明第一实施例的多束激光二极管结构的截面图；

图2是图解图1所示的多束激光二极管从形成突出条的面一侧观察的结 构平面图；

图3A是沿着图2的IIIA-IIIA线剖取的截面图，而图3B是沿着图2的 IIIB-IIIB线剖取的截面图；

图4是图解图1所示支撑从形成焊料层的面一侧观察的结构平面图；

图5是图解图1所示激光二极管元件的示例的截面图；

图6是图解制造图2至图4所示多束激光二极管的方法流程的流程图；

图7是图解按照步骤顺序制造图6所示多束激光二极管方法的平面图；