[发明专利]振动型传感器

权利要求书

1.一种振动型传感器，其特征在于，

上述振动型传感器具有振动片和支撑上述振动片的基座，

上述振动片包括：第一基部和第二基部，它们在表面和背面具有主面；振动臂，其呈梁状地延伸设置在上述第一基部和上述第二基部之间，并以预定的共振频率振动；第一收缩部，其从上述第一基部延伸设置，并且形成为在与上述振动臂的延伸设置方向正交的方向上的宽度比上述第一基部要窄；第二收缩部，其从上述第二基部延伸设置，并且形成为在与上述振动臂的延伸设置方向正交的方向上的宽度比上述第二基部要窄；第一支撑部，其从上述第一收缩部向与上述第一基部相反的方向延伸设置；以及第二支撑部，其从上述第二收缩部向与上述第二基部相反的方向延伸设置，

上述第一收缩部与上述第一基部在上述振动臂的延伸方向上的尺寸比、以及上述第二收缩部与上述第二基部在上述振动臂的延伸方向上的尺寸比在50％以上且在200％以下，

上述振动片的上述第一支撑部和上述第二支撑部的一个主面与上述基座连接。

2.根据权利要求1所述的振动型传感器，其特征在于，

上述振动臂被贯穿表面和背面的贯通孔分割成至少2个梁。

3.根据权利要求1或2所述的振动型传感器，其特征在于，

俯视呈曲线形状地进行上述第一收缩部与上述第一基部之间的连接、以及上述第一收缩部与上述第一支撑部之间的连接，并且俯视呈曲线形状地进行上述第二收缩部与上述第二基部之间的连接、以及上述第二收缩部与上述第二支撑部之间的连接。

4.根据权利要求1或2所述的振动型传感器，其特征在于，

上述第一支撑部和上述第二支撑部分别具有：延长部，其在与上述振动臂的延伸方向相交的方向上延伸设置；和固定部，其从上述延长部以与上述振动臂平行的方式延伸设置，并具有开放端，

上述振动片的包含上述固定部的上述第一支撑部和上述第二支撑部的一个主面与上述基座连接。

5.根据权利要求1或2所述的振动型传感器，其特征在于，

上述基座具有呈槽状地形成为薄壁的节点部，以上述节点部为基准在一侧的第一基座上连接有上述第一支撑部，在另一侧的第二基座上连接有上述第二支撑部。

6.根据权利要求1或2所述的振动型传感器，其特征在于，

上述基座具有：第一基座；第二基座，其通过具有挠性的连接部与上述第一基座连接；以及第三基座，其通过具有挠性的连接部与上述第二基座连接，

在上述第一基座上连接有上述第一支撑部，在上述第二基座上连接有上述第二支撑部。