[发明专利]用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器

说明书

技术领域

本发明涉及一种输送设置在曝光装置的中间掩模的自动机械，具体地说，涉及一种输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器(robot gripper)，该夹持器即使没有物理性接触也可正确检测夹持器上是否放着中间掩模(reticle，或投影掩模版)。

背景技术

通常，曝光装置是指在半导体或TFT LCD等需要电路工序的生产线上，利用照相机原理，将光照射在中间掩模等的光掩膜上，从而在半导体晶片或TFT LCD玻璃基板上刻划电路的装置。

其中，尤其是在LCD的玻璃基板上刻划电路的曝光装置，一般在支撑各种部件的平板上侧配置曝光部，分别在曝光部的上下配置中间掩模和玻璃板，从而使中间掩模的图案经由曝光部刻划在玻璃表面上。

并且，在上述曝光部的一侧包括可旋转地安装有多个中间掩模的轮，以使中间掩模可平稳交替，且在平板的一侧包括容纳并装载多个中间掩模的盒(cassette)以及将装载在盒中的中间掩模供给上述轮且将结束曝光作业的中间掩模再次返回到盒中的自动机(robot，或机器人)。

尤其是，如图5和6所示，如上所述的在轮和盒之间输送中间掩模的自动机包括拾取中间掩模1并进行固定的夹持器42，上述夹持器42包括：侧面支撑件421，朝主体的前方两侧同时支撑中间掩模1的两侧下部边缘和与其对应的下面两侧；上面支撑件422，其上下升降，用于固定中间掩模1的上面；以及致动器(actuator)423，用于驱动上述侧面支撑件421和上面支撑件422。

并且，在上述夹持器42主体的大致中央部前端设置感应开关43，用于确认夹持器42上是否安装中间掩模1，一般情况下，上述感应开关43的一端与中间掩模1的外侧接触，且沿上下方向弹性移动，根据此时感应开关43是否移动，来检测中间掩模是否被安装。

但是，如上所述的感应开关具有由于弹性恢复至原位的特征，因此，当夹持器将中间掩模放在轮上时，感应开关与中间掩模的接触被解除，并迅速返回至原位，这时，由于感应开关的弹性恢复力，振动和冲击传递给放在轮上的中间掩模，由于该振动和冲击，使得中间掩模的设置位置发生微细误差。

并且，如上所述的中间掩模的位置误差给要求超精密加工的曝光作业过程带来致命影响。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种用于输送中间掩模的自动机夹持器，该夹持器可最大限度降低通过夹持器输送的中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，且可检测到是否安装了中间掩模。

并且，本发明的目的在于防止非接触式传感器物理地接触中间掩模。

并且，本发明的目的在于可简单检测出中间掩模以扭曲状态设置在夹持器上。

为了实现上述目的，本发明提供一种用于输送中间掩模的自动机夹持器，其设置在安装于曝光装置并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向移动的移动部，且突出形成有用于支撑中间掩模侧面边缘的一对侧面支撑件，以便往返于盒和轮之间时输送中间掩模，该夹持器还包括用于支撑中间掩模上面的一对上面支撑件，上述用于输送中间掩模的机器人夹持器的特征在于：当中间掩模设置在上述夹持器上时，在与中间掩模相对的一侧面上设置有用于检测是否安装了中间掩模的非接触式传感器。

另外，在与上述中间掩模对应的上述夹持器的上面形成凹入的传感器安装槽，以便插入上述非接触式传感器。

另外，与上述上面支撑件邻接并间隔设置有一对上述传感器安装槽，在上述传感器安装槽中分别插入非接触式传感器。

从而，本发明提供一种用于输送中间掩模的夹持器，该夹持器可最大限度降低通过夹持器输送的中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，且可检测是否安装了中间掩模，从而，在将安装在夹持器的中间掩模放在轮的过程中，其可防止中间掩模的位置由于振动和冲击而出现的微小移动，从而中间掩模被放在轮上时可被更加正确地设置，并且可提高加工精度，降低不良率。

并且，本发明形成有传感器安装槽，防止了非接触式传感器与中间掩模物理性接触，从而消除了非接触式传感器与中间掩模之间的干涉，可更加顺利地将中间掩模安装在夹持器上。

另外，本发明形成有相互隔开设置的一对传感器安装槽，可简便检测出中间掩模是否以扭曲状态安装在夹持器上，从而更加正确地检测出中间掩模状态。

附图说明

图1是本发明涉及的曝光装置的一立体图。

图2是图1的正视图。

图3是本发明一实施例涉及的夹持器的放大立体图。

图4是图3的B部分的放大截面图。

图5是现有的用于输送中间掩模的机器人夹持器的放大立体图。

图6是图5的A部分的放大截面图。

附图标记