[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置

权利要求书

1.一种用于制备透射电子显微镜样品架的组件，所述组件包括：

透射电子显微镜样坯，

至少一个探针末梢，所述探针末梢具有探针针尖；和

压机，用于将每个探针针尖接合到透射电子显微镜样坯上并从该样坯 上切出透射电子显微镜样品架。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述样坯还包括：

片材；和

一个或多个穿过所述片材的探针针尖间隙槽，用于将透射电子显微镜 样品架模板连接到所述片材的边缘。

3.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述片材是一种金属， 其选自下列材料组成的组：铜、钼、铝、金、银、镍和铍。

4.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述片材具有表面瓦楞。

5.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述样坯还包括对准孔， 用于将样坯对准在压机中。

6.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，还包括：

位于所述样坯中的至少一个孔，其限定透射电子显微镜样品架模板的 外边界；所述孔具有一个开口；

所述孔的开口限定一个材料槽脊；

所述槽脊将透射电子显微镜样品架模板连接到所述片材；以及

穿过所述片材的至少一个探针针尖间隙槽，其将所述孔连接到所述片 材的边缘。

7.根据权利要求6所述的组件，其特征在于，所述孔为C形。

8.根据权利要求6所述的组件，其特征在于，所述透射电子显微镜样 品架为矩形。

9.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述压机还包括：

外模具；

位于外模具内的内模具；

与内、外模具相对的靠模杆；

与靠模杆同轴布置的剪冲头；

使靠模杆朝内模具偏置的下压弹簧；和

致动器，用于朝着内、外模具驱动剪冲头。

10.根据权利要求9所述的组件，其特征在于，所述靠模杆具有齿，用 于使绕着探针针尖的透射电子显微镜样品架材料流动。