[发明专利]用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置

权利要求书

1.用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置，其特征在于该装置由 CdS/CdTe的形成装置，CdCl₂热处理装置和背电极制作装置组成：

(1)CdS/CdTe的形成装置

CdS/CdTe的形成装置由进料仓(1)、CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓 (4)和出料仓(5)组成，进料仓(1)内设加热器(9)和输送系统(6)，输送系统 通过CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)构成循环系统； 仓与仓之间设隔离门(15)，进料仓外分别与真空系统(8)、氩气系统(10)和控制系 统(12)连接；CdS镀膜仓(2)内设CdS靶头(13)，靶头一端与冷却水进口及靶头 电源(17)连接，靶头另一端与冷却水出口(18)连接；输送系统(6)上放置工件夹 具(20)，工件夹具固定工件(7)，CdS镀膜仓的前、后设真空门(19)，真空门与CdS 镀膜仓的连接处设密封圈(16)，CdS镀膜仓外分别与真空系统、氩气系统和控制系统 连接；过渡仓(3)内设输送系统、过渡工件，过渡仓外分别与真空系统、氩气系统和 控制系统连接；CdTe镀膜仓(4)内设CdTe靶头(14)，其余部分设置和连接同CdS 镀膜仓(2)；出料仓(5)的设置和连接同过渡仓(3)，全部仓位由支架(11)支撑；

(2)CdCl₂热处理装置

将上述装置形成的CdS/CdTe膜的工件用激光刻第二条线后进入CdCl₂热处理装 置，当工件加热至250～270℃将CdCl₂加热至390～420℃采用近空间升华法装置将CdCl₂镀在CdS/CdTe面上；

(3)背电极制作装置

背电极制作装置由进料仓(1)、ZnTe镀膜仓(2)、过渡仓(3)、Ni镀膜仓(4) 和出料仓(5)组成，它与CdS/CdTe的形成装置基本相同，进料仓(1)的设置和连接 同CdS/CdTe的形成装置的进料仓，ZnTe镀膜仓(2)的设置和连接同CdS镀膜仓、过 渡仓的设置和连接同CdS/CdTe的形成装置的过渡仓，Ni镀膜仓(4)的设置和连接同 CdTe镀膜仓、出料仓(5)的设置和连接同CdS/CdTe的形成装置的出料仓；

采用磁控溅射法将CdS、CdTe、ZnTe：Cu和Ni分别溅射到经清洗激光刻的导电 玻璃工件上，用超声焊机焊上引出电极，用UV胶在电池背面涂覆200～500μm厚的胶 膜，经UV干燥机干燥后形成完整的太阳能电池。