[发明专利]靶材塑性变形方法

说明书

技术领域

本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及靶材塑性变形方法。

背景技术

现有的多数靶材的加工方法主要是控制塑性变形方式、变形速率，并且控制过程中的温度变化。例如，申请号为00816972.1中国专利申请介绍了一种制备溅射靶材的方法。以至少5％的加工百分比和至少100％/秒的加工速率对金属材料进行塑性加工，并且控制材料加工过程中的温度变化，这样可以良好的控制材料的晶粒度尺寸。

塑性变形工艺有多种，常见的有自由锻、模锻、板料冲压、挤压、拉拔、轧制等。传统的靶材加工是将多种塑性变形工艺进行结合，以金属铝的塑性变形加工工艺为例，请参考图1，所述工艺具体包括切断、自由锻、冲压、轧制等多道工序。其中的每一道工序都比较复杂，需要特定的工艺条件(例如设备等)，难以控制，且对各道工序之间的配合要求也较高。多种塑性变形工艺结合，对设备和人员的要求很高，需要同时准备各种塑性变形工艺的要求，需要的投入很高。特别对于大型靶材(例如直径为300mm及300mm以上的靶材)而言，因为大型靶材尺寸大，要控制内部性能的均一和稳定，其制作工艺更复杂并且难以稳定。

另外，现有的自由锻、模锻等工艺所使用的设备是锻锤，锻锤在作业时是无法控制每次变形量和变形时间，也就是变形工艺无法精确控制，产品的质量无法得到保证。

因此，传统的塑性变形加工工艺复杂且难以控制，造成生产成本较高，加工效率不高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种靶材塑性变形方法，解决现有技术工艺复杂且成本较高的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材塑性变形方法，其包括：提供金属料件，所述金属料件为铝或者铝合金；对所述金属料件进行多道次的轧制工艺，制作成靶材。

可选地，所述轧制工艺为冷轧。

可选的，通过轧机进行所述轧制工艺，所述轧机包括上下对称设置的二个轧辊。

可选地，所述每一道次的轧制工艺具体包括：调节二个轧辊间的辊距，所述辊距为轧制目标量；将金属料件送至二个轧辊之间；通过二个轧辊的转动，将所述金属料件进行轧制，送出符合所述轧制目标量的金属料件或靶材。

可选地，所述辊距根据压下量或变形速率设定。

可选地，所述二个轧辊的转动方向相反。

可选地，所述靶材的厚度为30mm～100mm。所述靶材的直径为300mm或300mm以上。

可选地，所述方法还包括对经过多道次轧制工艺后形成的靶材进行热处理。所述热处理的温度为200℃～600℃，保温时间为0小时～5小时。

与现有技术相比，上述技术方案所提供的靶材塑性变形方法，在于通过进行多道次的轧制工艺来制作靶材，相对于现有技术，减少了塑性变形工艺中的工序，并使得制作的靶材符合塑性变形工艺要求，提高其生产良率。

因此，通过全轧制工艺，可以简化塑性变形加工工艺，并且全轧制工艺易于控制，可以降低生产成本，提高加工效率。

附图说明

图1为现有的一种靶材塑性变形方法的过程示意图；

图2为本发明实施例的靶材塑性变形方法的流程示意图；

图3为本发明实施例的靶材塑性变形方法的过程示意图；

图4为图3中每一道次的轧制工艺的流程示意图；

图5为图3中每一道次的轧制工艺的实施例示意图。

具体实施方式

在现有靶材塑性变形方法中，包括多种塑性变形工艺结合的多道工序，造成工序复杂且控制不便，成本较高及加工效率低的问题。有鉴于此，本发明的发明人提出了一种全轧制工艺，即在省略若干塑性变形工艺的情况下，通过多道次的轧制工艺，完成靶材的塑性变形。

本发明实施例提供一种靶材塑性变形方法，如图2所示，包括步骤：

S11，提供金属料件，所述金属料件为铝或铝合金；

S12，对所述金属料件进行多道次的轧制工艺，制作成靶材；

S13，对经过多道次轧制工艺后形成的靶材进行热处理。

通过上述塑性变形方法可以得到符合性能要求的靶材。其中，轧制的目的是使靶材的性能达到要求，热处理的目的是使性能达到要求的靶材稳定，性能不再发生变化。

下面结合附图对上述图2中所示的方法进行详细说明。

首先执行步骤S11，提供金属料件20。如图3所示，在本实施例中，所述金属料件20可以是铝或者铝合金。在其它实施例中，金属料件也可以是铜或铜合金，钛或钛合金等。