[发明专利]热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种热处理装置，其结构适合在减压条件下，对例如液 晶显示面板用的玻璃基板等平板形工件进行热处理。

背景技术

如图1所示，在减压干燥装置等热处理装置中，在炉体100的内部 配置作为热源的加热部102(例如电阻加热器)。由于必须向加热部102 供电，而且对炉体100要求气密性，所以在把加热部102设置在炉体100 内部的情况下，大多贯通炉体100设置对真空密封有效的中继导入电源 端子104。这样，把该中继导入电源端子104在炉外侧的端子连接在炉外 的电源部(图中省略)上，在炉内侧的端子通过连接线106连接在加热 部102上，从而可以从炉外的电源部通过中继导入电源端子104向炉体 100内部的加热部102供电。

可是，在上述结构中，在向加热部102通电并且使炉体100内部的 压力降低的过程中产生放电，其结果，往往产生漏电。由于担心该漏电 对人体和装置产生恶劣影响，因此谋求防止漏电被看作是非常重要的问 题。

因此，在以往的技术中，存在一种减压干燥装置(例如参照日本专 利申请公开公报特开2006-170533号)，其结构是：检测因在向加热部 通电的情况下使炉体100的内部减压而产生的漏电流，根据该漏电流的 量，进行对加热部通电的接通/断开控制。

在上述专利文献1的技术中，不能抑制从配线部分产生漏电流本身。 因此，仍然会从配线部分产生漏电流，每次在该漏电流超过了许用值， 就停止向加热器通电，存在使加热处理的处理时间延长的不利情况。

此外，在炉内利用连接线的结构中，在要抑制产生漏电流本身的情 况下，必须把炉内的结构设置成增大连接线与炉体之间的绝缘距离，或 者采用被覆线。

可是，增大绝缘距离阻碍炉体的小型化，此外，在采用被覆线的情 况下，存在因被覆部的耐热性能限制热处理的最高温度的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种热处理装置，利用简单的结构可以保持炉 内的清洁度，并且可以防止在减压条件下从炉内的配线部分产生漏电流。

为了达到所述目的，本发明提供一种热处理装置，在减压条件下对 工件进行热处理，其至少包括：加热部，具有一个或多个铠装加热器， 所述铠装加热器具有发热线和供电线在绝缘的状态下填充到金属管中的 铠装部；以及炉体，在内部收容所述加热部，具有让所述铠装加热器的 所述铠装部能够穿过的开口部；其特征在于，在所述铠装加热器的除了 所述铠装部以外的部位全部配置在所述炉体外部的状态下，所述铠装部 与所述开口部之间被实施了真空密封。

该发明的热处理装置在减压条件下对工件进行热处理。例举减压干 燥装置作为热处理装置的例子。该热处理装置至少具有加热部和炉体。

加热部具有一个或多个铠装加热器(sheathed heater)，所述铠装加 热器包括发热线和供电线在绝缘的状态下填充到金属管中的铠装部 (sheath portion)。例举呈板状的板式加热器(panel heater)作为加热部 的例子。例举具有真空耐压的细管铠装加热器作为铠装加热器的例子。

炉体在内部收容加热部。此外，炉体具有铠装加热器的铠装部可以 穿过的开口部。例举计量口作为开口部的例子。

热处理装置在除了铠装加热器的铠装部以外的部位全部配置在炉体 外部的状态下，在铠装部与开口部之间实施了真空密封(例如O形圈)。

在该结构中，不是把加热部通过连接线连接在炉体的中继导入电源 端子(例如贯通端子)上，而是通过在构成加热部的铠装加热器和炉体 之间直接真空密封，铠装加热器的非绝缘部在炉体内部不露出。因此， 即使在铠装加热器中通电的状态下使炉体减压，也不会产生放电。此外， 由于配置在炉体内部的铠装部使用具有耐热性能的金属管(例如不锈钢 管)，所以即使炉内达到高温也难以从铠装部的表面产生灰尘、或者产 生气体，因此可以使炉体内部保持清洁的状态。此外，由于铠装部使用 金属，所以与用树脂类覆盖连接线的情况相比，处理温度的上限不容易 受到制约。

在上述的结构中优选的是：铠装加热器构成为供电线仅从长度方向 的一个端部露出。其原因在于，如果采用供电线仅从铠装加热器的长度 方向上的一个端部露出的结构，则与使用供电线从铠装加热器的长度方 向上的两个端部露出的结构的相比，可以减少必须要真空密封的部位的 数量。