[发明专利]干型高电位测试器以及太阳模拟工具无效
申请号: | 200910163371.0 | 申请日: | 2009-07-06 |
公开(公告)号: | CN101943744A | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 彼特·王;哈里·史密斯·怀特赛尔三世;丹尼·卡姆·陆;苏杰发;迈克尔·马里奥特;马学洪;李晓宁;凌杰 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/36 | 分类号: | G01R31/36;G01R19/00;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干型高 电位 测试 以及 太阳 模拟 工具 | ||
1.一种用于测试光伏基板的装置,包括:
包括多个节段的框架,所述节段的形状被设置为与光伏基板的边缘区域的轮廓匹配;
耦合到每个节段的致动器;
电源,其被定位为与放置在光伏基板内的电连接器接触;和
耦合到每个节段的电传感器。
2.如权利要求1的装置,其中每个节段是边缘连接器,该边缘连接器包括面向边缘部分、面向背面部分和作为所述面向边缘部分的衬垫的顺从性部件。
3.如权利要求1的装置,其中每个致动器包括被定向在至少两个正交方向上的多个线性致动器。
4.如权利要求1的装置,其中每个节段包括导电衬垫,且所述电传感器中的每一个都被耦合到所述节段的所述导电衬垫。
5.如权利要求1的装置,其中所述框架覆盖基板的边缘区域的至少约95%。
6.如权利要求1的装置,还包括与所述每个节段的致动器、所述电源和所述电传感器耦合的控制器,其中所述控制器被配置成使所述多个节段在基板装载位置和测试位置之间移动。
7.如权利要求1的装置,其中每个节段包括与所述电传感器之一电耦合的导电衬垫,且控制器耦合到所述每个节段的致动器并配置为使所述多个节段在基板装载位置和测试位置之间移动,其中当所述节段处于测试位置时,每个节段的所述导电衬垫接触基板的边缘部分,且其中所述电传感器是电流传感器。
8.一种太阳模拟模块,包括:
太阳光谱源;
面向所述太阳光谱源的基板支架;
被定位为与放置在所述基板支架上的基板电接触的探针;和
高电位测试框架,其包括安装在致动器上的多个接触节段,所述致动器被配置为缩进和伸展所述接触节段。
9.如权利要求8的太阳模拟模块,其中所述致动器是线性致动器,该线性致动器被配置为在至少两个正交方向上移动所述接触节段。
10.如权利要求8的太阳模拟模块,其中每个接触节段包括面向边缘部分、面向背面部分和导电衬垫。
11.如权利要求10的太阳模拟模块,其中所述导电衬垫是具有导电表面的顺从性部件,且所述导电表面被电耦合到电传感器。
12.如权利要求8的太阳模拟模块,还包括电源,该电源在有助于所述电源和设置在基板中的连接器之间的电接触的位置处与基板支架耦合。
13.一种制造光伏基板的方法,包括:
在可移动的基板支架上放置光伏基板;
使用一个或多个致动器,将多个节段放置为与光伏基板的边缘区域接触;
通过致动所述基板支架,将放置在基板支架上的光伏基板移动到处理位置;
在设置在光伏基板中的电触点和所述多个节段中的至少一个之间施加电压;和
将光伏基板暴露于太阳光谱辐射。
14.如权利要求13的方法,还包括检测流过在光伏基板内设置的电触点的第一电流。
15.如权利要求14的方法,还包括通过将所述节段设置到远离光伏基板的位置来断开所述多个节段与所述边缘区域之间的接触,以及当将光伏基板暴露于太阳光谱辐射时,检测流过在光伏基板内设置的电触点的第二电流。
16.如权利要求13的方法,其中在将基板暴露于太阳光谱辐射之前,将电压施加到基板。
17.如权利要求13的方法,其中所述多个导电节段包括第一部分和第二部分,所述第一部分在所述第二部分不接触基板的时间期间接触基板,而所述第二部分在所述第一部分不接触基板的时间期间接触基板。
18.如权利要求13的方法,还包括利用具有导电表面的顺从性部件来作为每个节段的衬垫。
19.如权利要求18的方法,其中在基板正被移动到处理位置的同时,将所述电压施加到基板。
20.如权利要求19的方法,其中致动所述多个节段的步骤包括在至少两个正交方向上移动每个节段。
21.如权利要求13的方法,其中所述节段是导电的。
22.如权利要求13的方法,还包括:
形成光伏基板,包括:
在第一基板的第一表面上形成第一光伏结,包括:
在所述第一表面上形成p型层;
在所述p型层上形成本征型层;和
在所述本征型层上方形成n型层;
设置与所述第一光伏结的一部分进行电通信的电触点;和
将第二基板和绝缘层结合到所述第一基板,以使得所述绝缘层和所述第一光伏结被设置在所述第一和第二基板之间。
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