[发明专利]带有以镜像构形的方式布置的头单元的涂布机有效
申请号: | 200910160946.3 | 申请日: | 2009-07-31 |
公开(公告)号: | CN101642745A | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | 南嬉祯 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/00;B05C21/00;G02F1/1333;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 田军锋;魏金霞 |
地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 构形 方式 布置 单元 涂布机 | ||
技术领域
本发明主要涉及一种用于将液晶或密封胶施加至基板以形成平板显示器的涂布机,更具体而言,涉及形成密封胶图案或滴注液晶的涂布头单元在相对于基板移动时的构形。
背景技术
涂布机是通常用来在制造平板显示器或半导体的工艺中,将密封胶(密封剂)或液晶施加(或滴注)到基板上的设备。将涂布机构造成利用涂布头单元将密封胶施加或将液晶滴注到已经放置在托台上的基板上。
下面将说明涂布机的重要组成部分。
托台安装在框架上,且用于支承涂布头单元的头支承件安装至框架。此处,定位在基板上方的涂布头单元在沿X轴方向、Y轴方向或Z轴方向相对于基板移动时,将密封胶或液晶施加至基板。为此,将托台、头支承件和涂布头单元构造成以使它们沿至少一个方向相对于支承它们的结构移动。
随着基板的尺寸增加,涂布机设置有多个涂布头单元,以便在大基板上同时形成多个密封胶图案,并由此提高生产率。
此外,为了增加将要安装的涂布头单元的数目,可在涂布机上设置多个头支承件。
同样,在将多个头支承件安装在托台上方的情况下,当由头支承件支承的涂布头单元移动时,可能出现不必要的行程。为了防止这种不必要的行程,需要更有效地布置涂布头单元。
发明内容
因此,考虑到现有技术中出现的上述问题已经作出本发明,且本发 明的目的是提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机,其中涂布头单元布置在两个头支承件上以具有镜像构形,从而在涂布头单元移动时防止出现不必要的行程,因此使得图案能够适当形成,使得能够更容易地控制头单元,并增大了基板上的密封胶图案的有效面积。
为了实现上述目的,本发明提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机,包括一对并排放置在其上安装有基板的托台上方的头支承件,每个涂布头单元都包括:喷嘴,其用于排出密封胶;激光位移传感器,其包括设置在喷嘴的一侧上的发射部和设置在喷嘴的相对侧上的接收部,从而测量喷嘴的出口与基板之间的间隙;以及位置测量相机,其设置在激光位移传感器的第一侧,并且某些涂布头单元包括设置在激光位移传感器的第二侧的截面积传感器,以测量施加至基板的密封胶图案,其中在这对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元,且将设置在这对头支承件上的涂布头单元布置成关于这对头支承件之间的中心线对称,从而使涂布头单元处于镜像构形中。
为了实现上述目的,本发明提供一种带有以镜像构形的方式布置的涂布头单元的涂布机,包括一对并排放置在其上安装有基板的托台上方的头支承件,其中在这对头支承件中的每个上安装有多个涂布头单元,并且每个涂布头单元都包括用于排出密封胶的喷嘴;激光位移传感器,其包括设置在喷嘴的一侧上的发射部和设置在喷嘴的相对侧上的接收部,从而测量喷嘴的出口和基板之间的间隙;以及布置在激光位移传感器的第一侧的位置测量传感器,并且喷嘴、激光位移传感器和位置测量传感器中的至少一个以关于这对头支承件之间的中心线对称。
设置在每个头支承件上的涂布头单元中的至少一个可包括位于激光位移传感器的第二侧的截面积传感器,以便测量施加至基板的密封胶图案,并且可将截面积传感器布置成具有关于这对头支承件之间的中心线对称。
涂布头单元可以以彼此面对的方式布置在这对头支承件上,或者可布置在这对头支承件的外表面上。
附图说明
通过以下参考附图进行的详细说明,将更清楚地理解本发明的上述和其它的目的、特征和优点,附图中:
图1是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机的立体图;
图2是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机所包括的涂布头单元的立体图;
图3是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机所包括的涂布头单元的主视图;
图4是示出根据本发明的第一实施方式的涂布机中,涂布头单元以镜像构形的方式布置的状态的平面图;
图5是示出涂布头单元未以镜像构形的方式布置的状态的平面图;
图6是示出根据本发明的第二实施方式的涂布机的立体图;
图7是示出根据本发明的第二实施方式的涂布机中,涂布头单元以镜像构形的方式布置的状态的平面图。
具体实施方式
在下文中,将参照附图说明根据本发明的优选实施方式的涂布机。
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