[发明专利]振动镜元件

权利要求书

1.一种振动镜元件，其特征在于，包括：

底座部件；

基板，该基板由将镜子部、从两侧将所述镜子部支撑成能摆动并作为 下部电极起作用的可动部、支撑所述可动部并安装于所述底座部件的安装 部一体形成的金属形成；

压电膜，该压电膜设置在所述基板的所述可动部上，并通过对所述压 电膜施加周期性的电压而使所述镜子部振动；以及

上部电极，该上部电极设置在所述压电膜上；其中

所述安装部以围住所述可动部和所述镜子部的形态形成为框状。

2.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，所述基板由钛或钛 合金形成。

3.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，所述可动部包括： 一对转动轴部，该一对转动轴部的一端与所述镜子部连接；以及一对变形 部，该一对变形部分别与所述一对转动轴部的另一端连接，与所述一对转 动轴部正交地延伸，且空开规定间隔呈一直线状地分别配置有两个所述压 电膜。

4.如权利要求3所述的振动镜元件，其特征在于，所述转动轴部的短 边方向的宽度比所述变形部的短边方向的宽度小。

5.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，所述框状的安装部 以俯视时所述安装部的整个区域与所述底座部件的一部分重叠的形态安装 于所述底座部件。

6.如权利要求5所述的振动镜元件，其特征在于，由所述金属形成的 基板的所述安装部通过锡焊安装于所述底座部件。

7.如权利要求6所述的振动镜元件，其特征在于，所述锡焊时的接合 部构成为能与外部电连接。

8.如权利要求7所述的振动镜元件，其特征在于，

所述底座部件包括设置成能与外部电连接的连接端子部，

所述连接端子部与对所述基板和所述底座部件进行所述锡焊时的接合 部电连接。

9.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，

所述基板由具有正膨胀系数的金属材料形成，

所述底座部件由负膨胀系数材料形成。

10.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，所述基板由将所 述压电膜的构成元素所含的金属元素作为主要成分的金属材料形成。

11.如权利要求10所述的振动镜元件，其特征在于，

所述基板由钛形成，

所述压电膜由将铅、钛和锆作为主要成分的氧化物形成。

12.如权利要求10所述的振动镜元件，其特征在于，

所述压电膜由将铅、钛和锆作为主要成分的氧化物形成，

在由所述金属形成的基板与所述压电膜之间形成有中间层，该中间层 由具有钙钛矿构造且不含锆的材料形成。

13.如权利要求12所述的振动镜元件，其特征在于，所述中间层包含 钛酸铅镧、钛酸铅、钛酸锶和钌酸锶中的任一种。

14.如权利要求12所述的振动镜元件，其特征在于，所述中间层隔着 铂层形成在所述基板上。

15.如权利要求14所述的振动镜元件，其特征在于，所述铂层形成于 所述基板的表面上的、形成所述中间层的区域和构成所述镜子部的区域。

16.如权利要求15所述的振动镜元件，其特征在于，所述铂层形成于 所述基板的表面上的整个表面。

17.如权利要求6所述的振动镜元件，其特征在于，所述框状的安装 部俯视时的外形形状形成为矩形，并且，所述框状的安装部在四个角落附 近通过锡焊安装于所述底座部件。

18.如权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，包括所述镜子部、 所述可动部和所述安装部在内的所述基板具有均一的厚度。