[发明专利]基于级联微腔的数字式集成光波导传感器

权利要求书

1.基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特征在于包括一个恒定微 腔(1)、一条输入波导(3)、n个传感微腔(2)、n条连接波导(4)、n条 输出波导(5)和n个样品槽(6)，n≥1；n个传感微腔(2)与n个样品槽(6) 一一对应，每一个传感微腔(2)分别置于样品槽(6)当中，输入波导(3)位 于恒定微腔(1)的一侧，输入波导(3)的一端与恒定微腔(1)相耦合，另一 端为整个光波导传感器的光源接入端；n条连接波导(4)的一端各自与恒定微 腔(1)相耦合，n条连接波导(4)的另一端分别与n个传感微腔(2)一一对 应相耦合，n条输出波导(5)的一端分别与n个传感微腔(2)一一对应相耦合， n条输出波导(5)的另一端均为传感信号出射端。

2.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于恒定微腔(1)是微环、微盘、微球或光子晶体微腔，或者是微环、微盘、 微球和光子晶体微腔的任意两个或多个的组合。

3.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于每一个传感微腔(2)是微环、微盘、微球或光子晶体微腔，或者是微环、 微盘、微球和光子晶体微腔的任意两个或多个的组合。

4.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于传感微腔(2)与输出波导(5)之间的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合 方式是横向耦合或垂直耦合。

5.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于传感微腔(2)与连接波导(4)之间的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合 方式是横向耦合或垂直耦合。

6.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于恒定微腔(1)与输入波导(3)之间的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合 方式是横向耦合或垂直耦合。

7.根据权利要求1所述的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特 征在于恒定微腔(1)与连接波导(4)之间的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合 方式是横向耦合或垂直耦合。