[发明专利]传送一个或多个基板于工艺模块之间或装卸站之间的方法

权利要求书

1.一种传送一个或多个的基板于工艺模块之间或装卸站之间的 方法，包括：

确认一基板S1在一起始处理位置P1时，确认所述基板S1的一 目标位置D1；

若所述目标位置D1被一基板S2所占据，则所述基板S1维持在 所述起始处理位置P1；以及

若所述目标位置D1未被占据，传送所述基板S1至所述目标位 置D1；其中，传送所述基板S1的方法是由一个横向移动室来进行， 该横向移动室在多个工艺模块之间或多个装卸站之间传输时，该横向 移动室的气体压力维持在50毫托至1托尔的范围中。

2.如权利要求1所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，当所述目标位置D1被所述基板S2所 占据，且所述基板S1维持在所述起始处理位置P1时，包括：

确认所述基板S2的一目标位置D2。

3.如权利要求2所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，包括：

根据所述基板S1或所述基板S2中的哪一个具有较长的工艺时 间，以决定所述基板S1或所述基板S2中的哪一个先传送至对应的所 述目标位置D1或所述目标位置D2。

4.如权利要求1所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，所述横向移动室包括一热源。

5.如权利要求1所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，所述基板S1以一水平方向进行传送或 以一垂直方向进行传送。

6.如权利要求1所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，所述基板S1包括一对基板。

7.如权利要求1所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，在所述基板S1传送至所述目标位置D1 的步骤中，包括：

加载所述基板S1于一横向移动室内，其中所述横向移动室承载 于一轨道；

启动一个或多个的驱动系统以推动所述横向移动室沿着所述轨 道移动；

将所述横向移动室接合至所述目标位置D1；以及

将所述基板S1从所述横向移动室运送到所述目标位置D1。

8.如权利要求7所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，包括：

在进行将所述横向移动室接合至所述目标位置D1的步骤之后， 对所述横向移动室进行抽气。

9.如权利要求7所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，包括：

在进行将所述横向移动室接合至所述目标位置D1的步骤之后， 并且在进行将所述基板S1从所述横向移动室运送到所述目标位置D1 的步骤之前，对在所述目标位置D1与所述横向移动室之间形成的气 囊进行抽气。

10.如权利要求7所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之间 或装卸站之间的方法，其中，在将所述基板S1从所述横向移动室运 送到所述目标位置D1的步骤中，包括：

将所述基板S1设置于一基板承载台上；以及

移动所述基板承载台于一回缩位置与一伸展位置之间。

11.如权利要求10所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之 间或装卸站之间的方法，其中，一摆臂机构在所述回缩位置与所述伸 展位置之间移动所述基板承载台。

12.如权利要求11所述的传送一个或多个的基板于工艺模块之 间或装卸站之间的方法，其中，所述摆臂机构包括：

一摆臂；以及

一滑座，其内形成有一通道，其中所述摆臂的一端在所述通道中 作直线移动，且所述摆臂的另一端则枢接于一固定柱。