[发明专利]刀轮保持具、保持具单元、划线头及划线装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于对脆性材料基板形成划线的划线装置与其划线头、保持具 单元、刀轮保持具。

背景技术

以往，在液晶显示面板或液晶投影机基板等平面显示器等，是母玻璃基板 在制造过程被贴合后被分断为特定大小的单个面板。于此母玻璃基板等的脆性 材料基板的分断有划线步骤与折断步骤，在划线步骤是使用划线装置。

图1为显示公开于专利文献1的划线装置的立体图。此划线装置100是移 动台101沿一对的导引轨道102a、102b在y轴方向被保持为可移动。滚珠螺 杆103是与移动台101螺合。滚珠螺杆103是由马达104的驱动而旋转，使移 动台101沿导引轨道102a、102b在y轴方向移动。在移动台101的上面设有 马达105。马达105是使平台106在xy平面旋转以定位于既定角度。脆性材料 基板107是载置于此平台106上，受未图示的真空吸引手段等保持。在划线装 置1的上部设有拍摄脆性材料基板107的对准标记的2台的CCD摄影机108。

在划线装置100沿x轴方向以支柱111a、111b架设有桥110跨越移动台 101与其上部的平台106。划线头112可沿设于桥110的导引部113于X轴方 向移动。马达114是使划线头112沿X轴方向移动。

在划线装置的划线头112通过保持具接头120安装有刀轮保持具130。图 2A-2C为显示根据专利文献1的刀轮保持具的图，图3为其立体图。如此多个 图所示，刀轮保持具130是大致圆筒形的构件，其一端大致正方形状的平坦部 131a、131b皆被设为平行于中心轴。刀轮保持具130在此平坦部之间具有沿 中心轴的缺口132，在平坦部131a、131b的下端具有垂直于其面的方向的销 槽133。划线轮(亦称「刀轮」)134具有例如轮径2.5mm、厚度0.5mm程度 的圆板状的形状，圆周部分的剖面是形成为圆锥形，在中心具有贯通孔的切刀。 划线轮134是通过使被插入销槽133的销135贯通中心的贯通孔保持为可旋转。 在将销135插入销槽133保持划线轮134后，即使需要划线轮的交换时亦不取 下划线轮而与刀轮保持具一起交换。另外，刀轮保持具130的另一端设有定位 用的安装部136。安装部136是切除刀轮保持具130而形成，具有倾斜部136a 及平坦部136b。平坦部136b是与刀轮保持具的轴平行，且与下方的平坦部 131a、131b为垂直。刀轮保持具130是其上部的安装部136为以磁性体金属构 成。

划线头112是在其内部设有使刀轮保持具130的升降动作为可能的升降 部，例如使用空气压控制的气压缸或利用线性马达的电动升降部等。划线装置 是由升降部将划线轮134以适当的荷重压接于脆性材料基板的表面上转动，形 成划线。

其次说明保持具接头120。图4A-4C为显示以往的保持具接头120的图， 图5为显示将刀轮保持具130插入此保持具接头120的状态的立体图。如此多 个图所示，保持具接头120在上部具有轴承121a、121b，下方为保持刀轮保 持具130的保持部122。在保持具接头120的保持部122，如图示形成有圆形 的开口123，其内侧埋设有磁石124。又，在此开口123的内部于从中心轴离 开的位置设置与中心轴垂直的平行销125。平行销125是圆柱的构件，接触刀 轮保持具130的倾斜部136a以定位刀轮保持具130。

将此刀轮保持具130安装于保持具接头120时，是如图5所示将刀轮保持 具130从其安装部136插入保持具接头120的开口123。如此刀轮保持具130 的前端部受磁石124吸引，且倾斜部136a接触平行销125而被定位固定。图6 为显示被安装的状态的局部剖面图，图7为显示安装有保持具接头120的于划 线头112的一部的图。由于刀轮保持具130仅受磁石124吸引，故安装极容易， 被固定于特定的位置。更换时是拉刀轮保持具130以卸下。

【专利文献1】国际公开WO 2007/063979