[发明专利]驻极体的表面电压测定方法及其装置

权利要求书

1.一种驻极体的表面电压测定方法，将具有进行了极化处理的驻极体电介质膜的驻极体电容传声器用固定极作为被测定固定极，测定所述驻极体电介质膜的表面电压，其特征在于，

包括：由振动发生单元驱动的表面平滑的测定电极；经阻抗变换器连接在所述测定电极上的信号测定单元；针对所述被测定固定极的参照电极；向所述参照电极施加直流电压的直流电压源；以及测定所述直流电压的电压测定单元，

将所述被测定固定极的所述驻极体电介质膜和所述参照电极相对于所述测定电极以相同表面积以及相同高度并排设置，利用所述振动发生单元使所述测定电极以预定的频率以及振幅振动，并且，由所述直流电压源向所述参照电极施加与所述驻极体电介质膜的带电电荷相反极性的预定的直流电压，由所述电压测定单元测定所述信号测定单元的测定值为最小时的所述直流电压。

2.如权利要求1所述的驻极体的表面电压测定方法，其特征在于，

所述振动发生单元使用由振荡器驱动的压电元件。

3.如权利要求1或2所述的驻极体的表面电压测定方法，其特征在于，

至少在测定中将所述被测定固定极接地。

4.如权利要求1或2所述的驻极体的表面电压测定方法，其特征在于，

在非测定中将所述参照电极接地。

5.如权利要求1或2所述的驻极体的表面电压测定方法，其特征在于，

所述参照电极使用具有与所述被测定固定极的所述驻极体电介质膜相同表面积的电极。

6.一种驻极体的表面电压测定装置，将具有进行了极化处理的驻极体电介质膜的驻极体电容传声器用固定极作为被测定固定极，测定所述驻极体电介质膜的表面电压，其特征在于，

具备：针对所述被测定固定极的参照电极；具有将所述被测定固定极和所述参照电极并排设置的大小的表面平滑的测定电极；使所述测定电极以预定的频率以及振幅振动的振动发生单元；经由阻抗变换器连接在所述测定电极上的信号测定单元；向所述参照电极施加与所述驻极体电介质膜的带电电荷相反极性的直流电压的可变直流电压源；测定所述直流电压的电压测定单元；将所述被测定固定极的所述驻极体电介质膜和所述参照电极相对于所述测定电极以相同表面积以及相同高度并排设置的由电绝缘材料构成的支撑壳体。

7.如权利要求6所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

所述振动发生单元由利用振荡器驱动的压电元件构成。

8.如权利要求6或7所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

使用FET作为所述阻抗变换器。

9.如权利要求6、7或8所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

具有将所述被测定固定极接地的接地端子。

10.如权利要求6所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

具有选择性地将所述参照电极连接到所述可变直流电压源或者接地的切换开关。

11.如权利要求6所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

在所述支撑壳体上设置有两个开口部，该两个开口部用于使所述被测定固定极的所述驻极体电介质膜和所述参照电极的各一部分以相同表面积与所述测定电极对置。

12.如权利要求11所述的驻极体的表面电压测定装置，其特征在于，

所述各开口部是与所述驻极体电介质膜的有效面积大致相同的大小。