[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳，其内部保持为真空状态；

压力输入口，其在形成于所述外壳上的接头部开口；

一面为受压面的膜片，其封闭所述压力输入口；

力传递单元，其从所述外壳内部连接到所述膜片的另一面的中央部； 以及

感压元件，其以力的检测方向为检测轴，

所述力传递单元的位移方向和所述检测轴的方向与所述受压面大致 垂直，

所述感压元件的一端经由粘接单元支承固定在所述外壳上，另一端 经由粘接单元支承固定在所述力传递单元上，

所述粘接单元是无机粘接剂，

所述感压元件具有设置于该感压元件的两端部上的基部，在设置于 所述两端部上的基部之间具有振动部。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述无机粘接剂包含氧化铝和Si化合物。

3.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳，其具有压力输入口，该外壳的内部保持为真空状态；

外表面为受压面的膜片，其封闭该外壳的所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部与所述膜片的中央区域连接，与该 膜片连动地在与该膜片的受压面垂直的方向上运动；以及

感压元件，其与该力传递单元和所述外壳连接，沿着与所述膜片的 受压面垂直的轴设定检测轴，

所述感压元件具有设置于该感压元件的两端部上的基部，在设置于 所述两端部上的基部之间具有振动部，

所述感压元件的基部通过无机粘接剂与所述力传递单元和所述外壳 粘接。

4.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳，其内部保持为真空状态；

一对压力输入口，其同轴地设置在该外壳的对置的端面板上；

外表面为受压面的第1、第2膜片，其封闭所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部将所述膜片的内表面的中央区域彼 此连接；以及

感压元件，其一端与该力传递单元的中途连接，另一端与所述外壳 连接，并且，与垂直于所述膜片的受压面的轴平行地排列检测轴，

所述感压元件具有设置于该感压元件的两端部上的基部，在设置于 所述两端部上的基部之间具有振动部，

所述感压元件的基部通过无机粘接剂与所述力传递单元和所述外壳 粘接。

5.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳，其内部保持为真空状态；

压力输入口，其设置在该外壳的端面板上；

外表面为受压面的膜片，其封闭所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部，在所述膜片的内表面的中央区域 配置在与该膜片的受压面垂直的轴线上，且与对置的外壳端面板连接； 以及

感压元件，其一端与该力传递单元的中途连接，另一端与所述外壳 连接，并且，与垂直于所述膜片的受压面的轴同轴地设定检测轴，

所述感压元件具有设置于该感压元件的两端部上的基部，在设置于 所述两端部上的基部之间具有振动部，

所述感压元件的基部通过无机粘接剂与所述力传递单元和所述外壳 粘接。

6.根据权利要求3～5中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，

在所述外壳的内部与所述检测轴平行地设置有支柱。

7.根据权利要求3～5中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，

通过中心轴形成所述力传递单元，

与所述中心轴平行地配置感压元件。

8.根据权利要求3～5中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述膜片嵌入到形成于所述外壳的端面板的外表面上的凹陷部中， 与所述端面板排列在同一平面上。