[发明专利]一种洁净室通风系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种通风系统，尤其是一种洁净室通风系统。

背景技术

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

洁净室由于洁净度较高，一般都采用相对正压的形式，整个洁净区的进风和回风都需要较大的风机输送量，才能维持洁净，耗电量相当大。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种洁净室通风系统。

一种洁净室通风系统，包括进风单元、出风单元和控制单元，其特征在于净级别较低的洁净室的下方设置有一个补风口，补风口与该洁净室的进风单元连接，并与其相邻的洁净级别较高的洁净室的出风单元连接，中间设有过滤网，不同洁净等级之间过滤网的孔径不一样，净级别较低的洁净室的进风单元根据补风量的多少调节进风量，不影响出风单元的出风量，依次类推，由洁净级别最高的洁净室的出风作为初次补风源，直到洁净级别最低的出风单元才彻底完成出风。

本发明的显著效果是考虑到很多洁净室的洁净通风系统由于长时间开启，耗电量相当大，而对于净级别较低的洁净室来说，洁净级别较高的洁净室的回风一般污染较少，经过对应级别的滤网过滤后基本回复洁净状态，而且补风口设置在下方，不致引起上放空气的大面积紊流，同时减少了进风量，节约很大一部分电量，使用非常方便。

附图说明

附图为洁净室通风系统示意图

其中：1，出风单元；2，过滤网；3，洁净级别较低的洁净室；4，洁净级别较高的洁净室；5，补风口；6，进风单元。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步说明：净级别较低的洁净室3的下方设置有一个补风口5，补风口5与该洁净室的进风单元6连接，并与其相邻的洁净级别较高4的洁净室的出风单元1连接，中间设有过滤网2，不同洁净等级之间过滤网2的孔径不一样，净级别较低的洁净室3的进风单元6根据补风量的多少调节进风量，不影响出风单元1的出风量，依次类推，由洁净级别最高的洁净室的出风作为初次补风源，直到洁净级别最低的出风单元1才彻底完成出风。

将本发明应用于洁净室中，考虑到很多洁净室的洁净通风系统由于长时间开启，耗电量相当大，而对于净级别较低的洁净室来说，洁净级别较高的洁净室的回风一般污染较少，经过对应级别的滤网过滤后基本回复洁净状态，而且补风口设置在下方，不致引起上放空气的大面积紊流，同时减少了进风量，节约很大一部分电量，使用非常方便，可广泛应用于制药、电子等对洁净度要求较高的行业中。