[发明专利]射频离子电源

权利要求书

1.一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤波电路，耦合输出电路，其特征在于：所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与耦合输出电路连接，该耦合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。

2.根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述耦合输出电路中输出高频信号，其输出线圈(L₂)与设备负载之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。

3.根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述的静电除尘器中的电容与可调电源电路并联后再与推挽放大自激振荡电路连接。

4.根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述的推挽放大自激振荡电路中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Q₁)和第二高频功率电子管(Q₂)，所述第一高频功率电子管(Q₁)与第二高频功率电子管(Q₂)的阳极之间串接有第一电感线圈(L₁)，该第一电感线圈(L₁)分别与第一电容(C₁)和第二电容(C₂)的一端连接，该第一电容(C₁)另一端与第五电感(L₅)及第二高频功率电子管(Q₂)的栅极连接，所述第二电容(C₂)的另一端与第四电感(L₄)以及第一高频功率电子管(Q₁)的栅极连接。