[发明专利]26英寸厚壁深腔石英坩埚、其生产方法及设备

权利要求书

1.一种26英寸厚壁石英坩埚，其特征在于，该坩埚尺寸为外径 655~665mm  ，高度600~900mm，厚度：22~50mm，使用原料为sio2含量 超过99.999％的高纯石英砂，原料重量：260~300kg。

2.根据权利要求1所述的一种26英寸厚壁石英坩埚的生产方法，其 特征在于，该方法按照如下步骤进行操作：

1).把石英砂倒入模具内，通过离心力用成型棒成型后把模具拉进 熔制室；

2).石墨电极通电起弧，在3300-3500高温下熔制60分钟-90分钟；

3).自然冷却5-20分钟，取出后打磨整形即可。

3.根据权利要求1所述的生产26英寸厚壁石英坩埚的石英坩埚高 温成形系统，其特征在于：包括坩埚熔制主机，油浸式变压器，液压传 动系统，冷却系统，控制系统，排风系统，所述坩埚熔制主机通过电信 号和信息信号与控制系统连接，油浸式变压器通过电线与坩埚熔制主机 连接；坩埚熔制主机包括连杆，液压传动系统通过连杆与坩埚熔制主机 连接，冷却系统通过冷却液管与坩埚熔制主机连接，排风系统位于坩埚 熔制主机之上。

4.根据权利要求3所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 坩埚熔制主机包括坩埚模具、移动底座、电极、电极升降及开闭机构、 遮热板升降装置、导轨、支架；遮热板升降装置包括遮热板、丝杆，移 动板、锁紧螺栓、石英板，遮热板包括遮热板主体、冷却液管，遮热板 主体内部为中空，与冷却液管相通，遮热板主体中部为一圆形孔，圆形 孔直径与石英坩埚直径相等，遮热板和支架通过锁紧螺栓连接，支架和 移动板固定连接，移动板和导轨滑动连接，移动板和丝杆螺纹连接，导 轨和丝杆固定连接。

5.根据权利要求4所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：移动 底座水平放置，移动底座内设置有曲轴系统，曲轴系统上部设置有顶杆， 移动底座与坩埚模具通过顶杆连接，坩埚模具和遮热板倾斜设置，导轨 架设在支架上，导轨与支架固定连接，坩埚模具和遮热板的中轴线与移 动底座的中轴线呈6-10°角；所述遮热板还包括冷却液管，遮热板内 部为中空，与冷却液管相通；所述加料漏斗还包括石英管，加料漏斗为 双组漏斗，双组漏斗通过石英管架设在坩埚模具侧上方。

6.根据权利要求5所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 坩埚模具和遮热板的中轴线与移动底座的中轴线呈8°角；所述遮热板 与导轨滑动连接。

7.根据权利要求3所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 移动底座还包括推杆，移动底座架设在地面轨道上，移动底座下部前端 设置有推杆；所述遮热板升降装置，遮热板和锁紧螺栓之间有石英板； 所述遮热板升降装置中，丝杆还包括手柄，手柄位于丝杆下端。

8.根据权利要求3所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 坩埚模具为带环状盖体的坩埚模具，包括坩埚模具主体、石英纤维层、 冷却水套，坩埚模具主体由高纯度的石墨组成，坩埚模具主体内壁形状 与坩埚外形相对应，石英纤维层在坩埚模具主体外侧，冷却水套在石英 纤维层外侧，还包括环状盖体，环状盖体在坩埚模具主体上方，环状盖 体的外径等于坩埚模具主体的外径，环状盖体的内径等于坩埚模具主体 的内径，环状盖体所使用的是耐高温合金。

9.根据权利要求8所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 坩埚模具主体上端口内侧有一个环形凹台，环状盖体下端口内侧有一个 环形凸台，坩埚模具主体的环形凹台和环状盖体的环形凸台相匹配，坩 埚模具主体的环形凹台和环状盖体的环形凸台压嵌配合。

10.根据权利要求3所述石英坩埚高温成形系统，其特征在于：所述 油浸式变压器，包括由静铁芯、动铁芯及其之间缠绕的线圈构成的变压 器本体，所述变压器本体外层设置有油箱，所述油箱上连接有冷却油循 环装置；所述冷却油循环装置包括连接所述油箱上的油管，所述油管上 分别设置有冷却器和油泵。