[发明专利]试剂分配装置及输送方法

权利要求书

1.一种用于将气相试剂输送到沉积室的方法，所述方法包括：

(a)提供气相试剂分配装置，所述气相试剂分配装置包括：

器皿，所述器皿包括顶壁部件、侧壁部件和底壁部件，其构造成形成内 部器皿室以保持高至灌装线的源化学品，并额外地限定出灌装线之上的内部气 体空间；

所述顶壁部件具有第一面密封端口开口、第二面密封端口开口以及任选 的一个或多个其他面密封端口开口；

所述第一面密封端口开口具有与其相连的载气供应入口接头；

连接器，所述连接器包括连接至导管的金属面密封垫圈，该导管延伸通 过第一面密封端口开口和所述内部气体空间而进入所述源化学品，并且能够经 该导管将载气鼓入源化学品，以使得源化学品蒸气的至少一部分被带入所述载 气中，从而产生至灌装线之上的所述内部气体空间的气相试剂流，所述导管具 有邻近第一面密封端口开口的入口端和邻近底壁部件的出口端；

所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接头具有相对的表面，其 中，所述相对的表面互相不接触；

所述金属面密封垫圈与所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接 头的所述相对的表面对准并接触；

紧固部件，用于通过所述相对的表面和所述金属面密封垫圈将载气供应 入口接头固定到所述第一面密封端口开口；

载气供应管线，所述载气供应管线在外部从载气供应入口接头伸出，以 输送载气进入所述源化学品，载气供应管线包含位于其中的一个或多个载气流 量控制阀，用来控制从其通过的载气的流量；

所述第二面密封端口开口具有与其连接的气相试剂出口接头，通过该气 相试剂出口接头能够从所述装置对所述气相试剂进行分配；以及

气相试剂排放管线，所述气相试剂排放管线在外部从气相试剂出口接头 伸出，以从灌装线之上的所述内部气体空间移走气相试剂，气相试剂排放管线 任选地包含位于其中的一个或多个气相试剂流量控制阀，用来控制从其通过的 气相试剂的流量；

(b)将源化学品添加到所述气相试剂分配装置；

(c)将所述气相试剂分配装置中的源化学品加热至足以使源化学品汽化的 温度，从而提供气相试剂；

(d)通过所述载气供应管线和所述导管将载气供应到所述气相试剂分配装 置中；

(e)通过所述气相试剂排放管线从所述气相试剂分配装置中抽出所述气相 试剂和载气；

(f)将气相试剂和载气供应到所述沉积室中。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

(g)使气相试剂接触沉积室内的衬底，该衬底任选地位于可加热接受器上；

(h)通过连接至沉积室的流出物排放管线排放任何残留的流出物。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述沉积室选自化学气相沉积室和原 子层沉积室。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述衬底由选自金属、金属硅化物、 金属碳化物、金属氮化物、半导体、绝缘体和屏障材料的材料构成。

5.如权利要求2所述的方法，其中，所述衬底是图案化的晶片。

6.如权利要求1所述的方法，其中，在气相试剂分配装置中，器皿由不锈 钢制成。

7.如权利要求1所述的方法，其中，所述导管包括鼓泡器导管并且由不锈 钢制成。

8.如权利要求1所述的方法，其中，在气相试剂分配装置中，所述紧固部 件包括公螺母或六角形体与母螺母的接合。

9.如权利要求1所述的方法，其中，所述底壁部件具有位于其中的集液槽 凹穴，所述集液槽凹穴从所述底壁部件的表面向下延伸。

10.如权利要求9所述的方法，其中，气相试剂分配装置还包括：

温度传感器，所述温度传感器从所述顶壁部件垂直向下延伸通过所述内部 气体空间而进入源化学品，并且所述温度传感器的下端定位成无干扰地接近集 液槽凹穴的表面；

源化学品水平传感器，所述源化学品水平传感器从所述顶壁部件上的第三 面密封端口开口垂直向下延伸通过所述内部气体空间而进入源化学品，并且源 化学品水平传感器的下端定位成无干扰地接近集液槽凹穴的表面；以及

温度传感器可操作地布置在器皿内以确定器皿中源化学品的温度，源化学 品水平传感器可操作地布置在器皿内以确定器皿中源化学品的水平，温度传感 器和源化学品水平传感器在器皿内定位成无干扰地互相接近，并且与源化学品 水平传感器的下端相比，温度传感器的下端定位在相同地或更靠近地接近集液 槽凹穴的表面处，并且温度传感器和源化学品水平传感器在器皿中成源化学品 流动连通。