[发明专利]试剂分配装置及输送方法

权利要求书

1.一种气相试剂分配装置，包括：

器皿，所述器皿包括顶壁部件、侧壁部件和底壁部件，所述顶壁部件、侧 壁部件和底壁部件构造成能够形成内部器皿室，以保持高至灌装线的源化学品， 并额外地限定出灌装线之上的内部气体空间；

所述顶壁部件具有第一面密封端口开口、第二面密封端口开口以及任选的 一个或多个其他面密封端口开口；

所述第一面密封端口开口具有与其相连的载气供应入口接头；

连接器，所述连接器包括连接至导管的金属面密封垫圈，该导管延伸通过 第一面密封端口开口和所述内部气体空间而进入该源化学品，并且通过该导管 能够将载气鼓入源化学品中，以使得源化学品蒸气的至少一部分被带入所述载 气中，从而产生至灌装线之上的所述内部气体空间的气相试剂流，所述导管具 有邻近第一面密封端口开口的入口端和邻近底壁部件的出口端；

所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接头具有相对的表面，其中， 所述相对的表面并不互相接触；

所述金属面密封垫圈与所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接头 的所述相对的表面对准并接触；

紧固部件，用于通过所述相对的表面和所述金属面密封垫圈将载气供应入 口接头固定到所述第一面密封端口开口；以及

所述第二面密封端口开口具有与其相连的气相试剂出口接头，通过气相试剂 出口接头能够从所述装置分配所述气相试剂。

2.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，其中，该器皿由不锈钢制成。

3.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，其中，该导管包括鼓泡器导管并 且由不锈钢制成。

4.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，进一步包括：

载气供应管线，所述载气供应管线在外部从载气供应入口接头伸出，以输 送载气进入所述源化学品，载气供应管线包括位于其内的一个或多个载气流量 控制阀，用来控制从其通过的载气的流量；以及

气相试剂排放管线，所述气相试剂排放管线在外部从气相试剂出口接头伸 出，以从灌装线之上的所述内部气体空间移走气相试剂，气相试剂排放管线任 选地包括位于其内的一个或多个气相试剂流量控制阀，用来控制从其通过的气 相试剂的流量。

5.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，其中，所述底壁部件具有位于其 内的集液槽凹穴，该集液槽凹穴从所述底壁部件的表面向下延伸。

6.如权利要求5所述的气相试剂分配装置，进一步包括：

温度传感器，所述温度传感器从所述顶壁部件基本垂直向下延伸通过该内 部气体空间并进入该源化学品，并且温度传感器的下端定位成无干扰地接近该 集液槽凹穴的表面；

源化学品水平传感器，所述源化学品水平传感器经过所述顶壁部件上的第 三面密封端口开口基本垂直向下延伸通过该内部气体空间并进入该源化学品， 并且源化学品水平传感器的下端定位成无干扰地接近该集液槽凹穴的表面；以 及

温度传感器可操作地布置在器皿内以确定器皿中的源化学品的温度，源化 学品水平传感器可操作地布置在器皿内以确定器皿中的源化学品的水平，温度 传感器和源化学品水平传感器在器皿内定位成无干扰地互相接近，并且与源化 学品水平传感器的下端相比，温度传感器的下端定位成相同地或更靠近地接近 集液槽凹穴的表面，并且温度传感器和源化学品水平传感器在器皿中成源化学 品流动连通。

7.如权利要求4所述的气相试剂分配装置，进一步包括：

所述气相试剂排放管线，所述气相试剂排放管线与气相输送沉积系统成气 相试剂流动连通，所述沉积系统选自化学气相沉积系统或原子层沉积系统。

8.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，其中，所述器皿包括圆柱形的侧 壁部件或限定非圆柱形状的侧壁部件。

9.如权利要求1所述的气相试剂分配装置，其中，源化学品包括液体或固体 材料。

10.一种液相试剂分配装置，包括：

器皿，所述器皿包括顶壁部件、侧壁部件和底壁部件，所述顶壁部件、侧壁 部件和底壁部件构造成能够形成内部器皿室，以保持高至灌装线的源化学品， 并额外地限定出灌装线之上的内部气体空间；

所述顶壁部件具有第一面密封端口开口、第二面密封端口开口以及任选的一 个或多个其他面密封端口开口；

所述第一面密封端口开口具有与其相连的惰性气体供应入口接头，通过惰性 气体供应入口接头可将惰性气体供应至灌装线之上的内部气体空间内，从而对 灌装线之上的内部气体空间进行加压；

所述第二面密封端口开口具有与其相连的液相试剂出口接头；

连接器，所述连接器包括与导管连接的金属面密封垫圈，该导管延伸通过 第二面密封端口开口和所述内部气体空间而进入该源化学品，并且通过该导管 能够从所述装置分配液相试剂，所述导管具有邻近第二面密封端口开口的出口 端和邻近底壁部件的入口端；

所述第二面密封端口开口和所述液相试剂出口接头具有相对的表面，其中， 所述相对的表面并不互相接触；

所述金属面密封垫圈与所述第二面密封端口开口和所述液相试剂出口接头 的所述相对的表面对准并接触；以及

紧固部件，用于通过所述相对的表面和所述金属面密封垫圈将液相试剂出 口接头固定到所述第二面密封端口开口。