[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，该涂布装置将涂布液涂布在基板上，其特征在于，

该涂布装置包括：

操作台，其用于搭载所述基板；

喷头，其具有朝向所述基板排出所述涂布液的喷嘴；

测定装置，其对从所述喷嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定；

驱动机构，其通过伺服控制使所述操作台和所述喷头中的至少任一方移动；以及

控制装置，其在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时，使所述驱动机构的伺服控制停止。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述驱动机构具有伺服电机，并且利用供给来的电力来驱动所述伺服电机进行伺服控制，

所述控制装置在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时，停止对所述伺服电机供给电力。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布装置具有驱动轴，所述驱动轴安装在所述操作台和所述喷头的至少任一方上，

所述伺服电机使所述驱动轴旋转。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制装置对所述驱动机构进行控制，停止对所述操作台和所述喷头中的预先确定的一方进行伺服控制，所述预先确定的一方是所述操作台和所述喷头中的因振动而使所述涂布液的截面面积或者截面形状的测定产生误差的一方。