[发明专利]光阻组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种化学增幅型光阻组合物，其特征在于，含有：

(A1)基础树脂，其是以酸不稳定基保护而具有酸性官能基的碱不溶性 或难溶性的树脂，当该酸不稳定基脱离时会变成碱可溶性；

(B)酸产生剂；及

(C)1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的 氢的胺化合物，但排除胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形，并且 是以下述一般式(1)表示的具有羧基的胺化合物，

式中，R₁、R₂分别是碳数2～20的直链状、支链状或环状的烷基，R₃是 氢；R₄是碳数0～20的直链状、支链状或环状的亚烷基。

2.一种化学增幅型光阻组合物，其特征在于，含有：

(A2)碱可溶性且通过酸催化剂而变成碱不溶性的基础树脂、及/或碱 可溶性且通过酸催化剂而与交联剂反应并变成碱不溶性的基础树脂与交联剂 的组合；

(B)酸产生剂；及

(C)1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的 氢的胺化合物，但排除胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形，并且 是以下述一般式(1)表示的具有羧基的胺化合物，

式中，R₁、R₂分别是碳数2～20的直链状、支链状或环状的烷基；R₃是 氢；R₄是碳数0～20的直链状、支链状或环状的亚烷基。

3.如权利要求1或2所述的化学增幅型光阻组合物，其中，进而含有1 种或2种以上的以下述一般式(4)表示的胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分别是氢原子、碳数1～20的直链状、支链状或环状 的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、 碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基 烷基的任一种；又，R₇、R₈、R₉中的2个也可键结而形成环状结构。

4.如权利要求1或2所述的化学增幅型光阻组合物，其中，进而含有1 种或2种以上的以下述一般式(5)表示的氧化胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分别是氢原子、碳数1～20的直链状、支链状或环状 的烷基、碳数6～20的芳基、碳数7～20的芳烷基、碳数2～10的羟烷基、 碳数2～10的烷氧基烷基、碳数2～10的酰氧基烷基、碳数1～10的烷硫基 烷基的任一种；又，R₇、R₈、R₉中的2个也可键结而形成环状结构。