[发明专利]激光器运行方法和激光装置

权利要求书

1.借助于激光束用于工件加工和/或者连接的方法，带有一有效 功率激光器和一导向瞄准激光器，所述激光器发射不同波长的有效激 光束(2)和导向激光束(3)，其中有效功率激光器和导向瞄准激光 器的激光束(2，3)借助于一激光光学系统(4)用可自由确定的、 相互重叠的、位置和形状相同的光束图案(6，6′)被投影到工件(5， 5′)上，其特征在于，光束图案(6，6′)的形状用至少一集成在激光 光学系统(4)中的衍射光学元件(7)确定，其中要么衍射光学元件 (7)被用于两个激光束(2，3)，并且在衍射光学元件(7)之后导 向激光束(3)的较小的光束横截面被与有效激光束(2)的较大的光 束横截面相匹配，要么其中使用两个不同构成的衍射光学元件(7)， 并且每一衍射光学元件(7)被分配给两个激光束(2，3)的一个， 所述衍射光学元件(7)将导向激光束(3)的光束横截面和有效激光 束(2)的光束横截面相互匹配，以使在工件(5，5′)上光束图案(6， 6′)的大小大致相同。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，导向激光束(3) 对在衍射光学元件(7)和工件(5，5′)之间的部分程长被与有效激 光束(2)分离，并且在分离之后导向激光束(3)在横截面上被扩大。

3.根据权利要求1或者2所述的方法，其特征在于，导向激光 束(3)的光束横截面在与有效激光束(2)分离之后借助于作为光束 扩大装置的、相互间隔的、到偏转装置(8，9)的间距可改变的平面 转向镜(10，11，13)被扩大。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，导向激光束(3) 相对于有效激光束(2)用依赖于波长的镜(8，9)被偏转。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，导向激光束(3) 的光束横截面在工件(5，5′)上与有效激光束(2)的光束横截面相 匹配。

6.带有一有效功率激光器和一导向瞄准激光器借助于激光束用 于工件加工和/或者连接的装置(1)，所述激光器发射不同波长的有 效激光束(2)和导向激光束(3)，其中激光光学系统(4)将激光 束(2，3)对准工件(5，5′)，并且激光光学系统(4)对准有效功 率激光器和导向瞄准激光器的激光束(2，3)，并且用相互重叠的、 位置和形状相同的光束图案(6，6′)投影到工件(5，5′)上，其特 征在于，激光光学系统(4)为了确定光束图案(6，6′)的形状至少 具有一衍射光学元件(7)，并且为了确定光束图案(6，6′)的相同 的大小具有一光束扩大系统，其中光束扩大系统将导向瞄准激光器 (3)的光束图案(6′)的大小与有效功率激光器(2)光束图案(6) 的大小相匹配。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，衍射光学元件(7) 构成固定的衍射光学元件(7)。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，衍射光学元件(7) 构成变化的衍射光学元件(7)。

9.根据前面的权利要求6至8中任一项所述的装置，其特征在 于，光束扩大系统具有对在衍射光学元件(7)和工件(5，5′)之间 的部分程长用于导向激光束(3)与有效激光束(2)分离的光束偏转 装置(8，9)。

10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，光束扩大系统具 有用于导向激光束(3)的光束横截面扩大的光束扩大装置(10，11， 13)。

11.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，导向激光束(3) 从有效激光束(2)的输出耦合和/或者导向激光束(3)到有效激光束 (2)的输入耦合用作为光束偏转装置(8，9)的依赖于波长的镜(8， 9)来实现。

12.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，导向激光束(3) 在输出耦合之后用作为扩大装置(10，11，13)的两个平面转向镜(10， 11，13)进行扩大，所述平面转向镜相对于偏转装置(8，9)的间距 可变化地调节。