[发明专利]微珠制备方法以及微珠

权利要求书

1.一种微珠制备方法，包括以下步骤：

通过光刻将已经在基板上形成的薄膜图案化成预定形状 的微珠区域；

将预定物质通过点样方法固定在由此图案化的微珠区域 上；以及

从所述基板上剥离具有固定在其上的所述物质的由此图 案化的微珠区域，

其中，所述微珠具有设置有彼此相对并基本上彼此平行 延伸的两个面的三维形状，并且所述预定物质固定在所述两个 面中的仅一个上，

其中，在固定步骤之前，对由此图案化的微珠区域之间 的基板区域进行防水处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在将在剥离步骤中能够物 理或化学蚀刻的牺牲层堆叠在所述基板上之后，进行所述薄膜 的形成。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述固定步骤通过在所述 微珠区域上的所述物质的化学合成来进行。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，将选自预定序列的核酸、 预定序列的肽、或糖链中的生物大分子固定作为所述物质。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述薄膜由光致抗蚀剂或 二氧化硅形成。

6.根据权利要求2所述的方法，其中，所述牺牲层由氟化有机材 料层形成。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述剥离步骤中，通过 使所述氟化有机材料层升华而从所述基板上剥离所述由此图 案化的微珠区域。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述剥离步骤中，通过 用氟化溶剂溶解所述氟化有机材料层而从所述基板上剥离所 述由此图案化的微珠区域。

9.根据权利要求2所述的方法，其中，所述牺牲层通过用偶联剂 对所述基板的表面进行处理而形成。

10.根据权利要求2所述的方法，其中，所述牺牲层由金属氧化层 形成。

11.通过微珠制备方法获得的微珠，所述方法包括以下步骤：

通过光刻将已经形成在基板上的薄膜图案化成预定形状 的微珠区域；

将预定物质通过点样方法固定在由此图案化的微珠区域 上；以及

从所述基板上剥离具有固定在其上的所述物质的由此图 案化的微珠区域，

其中，所述微珠具有设置有彼此相对并基本上彼此平行 延伸的两个面的三维形状，并且所述预定物质固定在所述两个 面中的仅一个上，

其中，在固定步骤之前，对由此图案化的微珠区域之间 的基板区域进行防水处理。