[发明专利]密封剂配送器及其控制方法有效
| 申请号: | 200910137259.X | 申请日: | 2005-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN101551256A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
| 发明(设计)人: | 安满镐;金埈煐 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
| 主分类号: | G01D5/32 | 分类号: | G01D5/32;G01S17/08;B05B15/00;B05C21/00;G02F1/1339 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 吴贵明 |
| 地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 密封剂 配送 及其 控制 方法 | ||
1.一种用于密封剂配送器的距离传感器,包括:
光发射部件,用于发射激光束;
光接收部件,用于接收所述激光束;以及
支撑部件,用于支撑所述光发射部件和所述光接收部件, 所述支撑部件上设置有喷嘴可穿过的耦合孔,所述耦合孔位于 所述光发射部件与所述光接收部件之间,所述喷嘴和注射器依 次布置在同一轴线上,
其中所述光发射部件向基板发射激光束,并且所述光接收 部件接收从所述基板反射的激光束。
2.根据权利要求1所述的传感器,其中所述支撑部件设置在所 述光接收部件和所述光发射部件的上方。
3.根据权利要求1所述的传感器,其中所述支撑部件包括用于 支撑所述光发射部件的第一支撑与用于支撑所述光接收部件 的第二支撑。
4.根据权利要求1所述的传感器,其中所述光发射部件和所述 光接收部件分开安装在所述支撑部件上。
5.根据权利要求1所述的传感器,其中所述光发射部件和所述 光接收部件结合为一体。
6.根据权利要求1所述的传感器,其中所述密封剂配送器包括: 工作台,所述基板安装于其上,喷嘴,用于在相对于所述基板 移动时配送密封剂,注射器,与所述喷嘴相耦合,用于存储所 述密封剂,并且其中所述光发射部件与所述光接收部件安装在 相对于所述注射器的下部的两侧,用于测量所述基板的主平面 与所述喷嘴的出口之间的垂直距离。
7.根据权利要求6所述的传感器,其中所述支撑部件设置在所 述光发射部件与所述光接收部件的上方并具有耦合孔,用于使 所述喷嘴穿过所述耦合孔而安装在所述光发射部件与所述光 接收部件之间。
8.根据权利要求6所述的传感器,其中所述注射器与所述喷嘴 的出口具有基本上相同的中心轴线。
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