[发明专利]一种能呈现石英晶体特征结构外形的籽晶加工方法无效
| 申请号: | 200910136336.X | 申请日: | 2009-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN101603202A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
| 发明(设计)人: | 赵玉宏;高春浩 | 申请(专利权)人: | 北京石晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/18 | 分类号: | C30B29/18;B28D5/00 |
| 代理公司: | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘淑芬 |
| 地址: | 100086北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 呈现 石英 晶体 特征 结构 外形 籽晶 加工 方法 | ||
1.一种能呈现石英晶体特征结构外形的籽晶加工方法,其特征在于:所述 方法包含如下步骤:
(1)划线:研磨Z板原晶的Z面,研磨呈平面,并控制研磨角度为25°20′ ±30′,取Y向比X向长,Z面为最大面,在Z面上以垂直Y向为一边划正六边 形;
(2)切割:沿上述步骤(1)所划正六边形线以垂直Z面方向进行切割,得 到一个六棱柱;
(3)研磨各切割面:研磨从步骤2得到的六棱柱的六个侧面,其中研磨角 度的标准值为10°26′,角度公差按照±30′控制;
(4)切割:将上述经过研磨的六棱柱以其中一个柱面为粘接面,平行于Z 面进行切割,切割出厚度为1-3mm的正六边形片;
所述步骤(3)中,首先手工在研磨盘上用金刚砂修正相邻的三个侧面,确 保其角度在10°26′±30′以内,然后用平面磨床分别以被修磨过的三个侧面 为基准面研磨另外的三个侧面,使得六个面的角度在10°26′±30′以内;
所述六棱柱的正六边形研磨尺寸各边误差在其边长的1/10以内。
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