[发明专利]溅射靶

权利要求书

1.一种溅射靶，其特征在于，包括：靶材；背板；至少一个缓冲板，其 被设置在所述靶材和所述背板之间；接合材料，用于将所述靶材、背板以及 缓冲板接合成一体，所述缓冲板在其上表面以及下表面上，通过接合材料而 与所述靶材、所述背板、或其他的缓冲板相接合，

所述靶材由多个分割靶材构成，在至少一个该分割靶材的下方，层压有 至少一个具有与该分割靶材大致相同的平面形状的所述缓冲板。

2.如权利要求1所述的溅射靶，所述多个分割靶材被配置成，使所述溅 射靶的表面大致处于一个平面。

3.如权利要求1或2所述的溅射靶，所述缓冲板的材料与所述背板的材 料相同。

4.如权利要求1或2所述的溅射靶，所述缓冲板的厚度为0.5～10mm。

5.如权利要求1或2所述的溅射靶，其中，

当缓冲板为一个时，介于所述靶材和所述缓冲板之间的由所述接合材料 所形成的接合层的厚度，以及介于所述背板和所述缓冲板之间的由所述接合 材料所形成的接合层的厚度之总和为0.25～4.5mm；

当缓冲板为两个以上时，介于所述靶材和所述缓冲板之间的由所述接合 材料所形成的接合层的厚度，和介于所述背板和所述缓冲板之间的由所述接 合材料所形成的接合层的厚度，以及介于所述缓冲板和缓冲板之间的由所述 接合材料所形成的接合层的厚度之总和为0.25～4.5mm。