[发明专利]压电叠置体器件的制造方法

权利要求书

1.一种制造压电叠置体器件的方法，所述压电叠置体器件具有交替层 压的压电陶瓷层和含有电极的层，所述压电陶瓷层由晶体定向陶瓷构成， 所述晶体定向陶瓷由包括作为主相的各向同性的钙钛矿化合物的多晶构 成，其中，使构成所述多晶的晶粒的晶面{100}定向，所述含有电极的层包 括构成了内部电极的电极区，所述方法包括：

混合步骤，用于将各向异性成形的粉末与反应原料粉末混合，以提供 原材料混合物，所述各向异性成形的粉末仅由各向异性成形的定向颗粒构 成，所述定向颗粒的晶面{100}将被定向，所述反应原料粉末将通过与所述 各向异性成形的粉末发生反应而提供所述各向同性的钙钛矿化合物；

薄板形成步骤，用于将所述原材料混合物模制成薄板形状，从而使所 述各向异性成形的粉末颗粒的晶面{100}几乎单向地定向，由此得到绿带；

印刷步骤，用于在对所述绿带进行烧结之后，采用电极材料在所述绿 带上印刷所述电极区；

层压步骤，用于在所述印刷步骤之后将所述绿带层压成层压板；以及

烧结步骤，用于通过使所述各向异性成形的粉末和所述反应原料粉末 之间发生反应，并通过加热所述层压板而使所述混合物烧结来获得所述压 电叠置体器件，所述压电叠置体器件具有交替层压的由晶体定向陶瓷构成 的压电陶瓷层和包含电极区的含有电极的层，其中，

在所述混合步骤中，按照具有一定的化学计量比的量混合所述各向异 性成形的粉末和所述反应原料粉末，从而在所述烧结步骤之后，由所述各 向异性成形的粉末和所述反应原料粉末提供通过下述通式(1)表示的各向 同性钙钛矿化合物：{Li_x(K_1-yNa_y)_1-x}_a(Nb_1-z-wTa_zSb_w)O₃，其中，0≤x≤0.2，0 ≤y≤1，0≤z≤0.4，0≤w≤0.2，x+z+w＞0，并且0.95≤a≤1，并且相对于 1摩尔的由通式(1)表示的各向同性钙钛矿化合物混合具有0.005到0.02 摩尔的添加量的Nb₂O₅粉末和/或Ta₂O₅粉末，

所述晶体定向陶瓷的居里温度高于所述压电叠置体器件的工作温度范 围。

2.根据权利要求1所述的制造压电叠置体器件的方法，其中，所采用 的各向异性成形的粉末是通过对各向异性成形的起始材料进行酸处理而获 得的酸解产物，所述起始材料由通过下述通式(2)表示的含铋层状钙钛矿 化合物构成：(Bi₂O₂)²⁺{Bi_0.5(K_uNa_1-u)_m-1.5(Nb_1-vTa_v)_mO_3m+1}^2-，其中，m是大于或 等于2的整数，0≤u≤0.8，并且0≤v≤0.4。

3.根据权利要求1所述的制造压电叠置体器件的方法，其中，所采用 的反应原料粉末是由下述通式(3)表示的各向同性钙钛矿化合物的粉末： {Li_p(K_1-qNa_q)_1-p}。(Nb_1-r-sTa_rSb_s)O₃，其中，0≤p≤1，0≤q≤1，0≤r≤1，0≤s ≤1，并且0.95≤c≤1.05。

4.根据权利要求1所述的制造压电叠置体器件的方法，其中，在通式 (1)中，满足关系9x-5z-17w≥-318以及-18.9x-3.9z-5.8w≤-130。