[发明专利]划线装置以及多轴划线装置有效

专利信息
申请号: 200910132710.9 申请日: 2009-04-14
公开(公告)号: CN101562127A 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 星野京延;三户雅德;羽生明夫;河野贵哉;宍户善明 申请(专利权)人: THK株式会社;株式会社贝尔德克斯
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/301;B28D5/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 划线 装置 以及
【权利要求书】:

1.一种划线装置,其具备:

轴部件,其具有磁铁且能够绕轴线旋转;

电枢,其具有围绕所述轴部件的周围的线圈;

划线工具,其设置于所述轴部件的前端,用于在薄板状的工件上刻上 划线;

移动机构,其使所述划线工具沿所述工件的表面相对移动,

在所述电枢的所述线圈中流过电流,由此通过在所述轴部件的磁铁上 产生的磁场和在所述线圈中流动的电流,获得用于所述轴部件直线运动的 推力,从而所述划线工具向所述工件的表面进退,

在所述划线工具与所述工件的表面接触时,进一步在所述电枢的所述 线圈中流过电流,由此在按照所述工件的表面内的所述划线工具的行进方 向使所述轴部件能够绕其轴线旋转的状态下,从所述划线工具向所述工件 赋予载荷。

2.根据权利要求1所述的划线装置,其特征在于,

所述划线装置还具备控制装置,所述控制装置进行控制向所述工件的 表面进退的所述轴部件的位置的位置控制和控制从与所述工件接触的所 述划线工具向所述工件赋予的载荷的载荷控制。

3.根据权利要求2所述的划线装置,其特征在于,

所述划线装置还具备:

电流传感器,其检测在所述线圈中流过的电流;

位置传感器,其检测所述轴部件的轴线方向的位置,

所述控制装置根据指令以及来自所述位置传感器的信息进行所述位 置控制,并且根据指令以及来自所述电流传感器的信息进行所述载荷控 制。

4.根据权利要求1~3中任意一项所述的划线装置,其特征在于,

所述划线装置还具备静压空气轴承,所述静压空气轴承在从轴承主体 的外部供给的空气的力的作用下使所述轴部件在轴承主体中浮起,同时对 所述轴部件在其轴线方向上的直线运动、绕轴线的旋转进行引导。

5.一种多轴划线装置,其通过多个包括根据权利要求1~3中任意一 项所述的划线装置的所述轴部件、所述电枢以及所述划线工具的划线头部 以相互的所述轴部件平行的方式层叠而构成。

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