[发明专利]低温固化性感光性树脂组合物无效
申请号: | 200910131096.4 | 申请日: | 2009-04-22 |
公开(公告)号: | CN101566796A | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | 金柄郁;尹赫敏;金东明;崔相角;丘冀赫;吕泰勋;尹柱豹;申洪大;崔守延;金珍善;李相勋 | 申请(专利权)人: | 东进世美肯株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁香兰 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低温 固化 性感 树脂 组合 | ||
技术领域
本发明涉及低温固化性感光性树脂组合物,更具体地说,本发明涉及如下低温固化性感光性树脂组合物,该组合物不仅感光度、耐热性、耐化学性等性能优异,而且即使在150℃以下的低温工序中也使膜(film)具有优异的疏水特性,由此该组合物特别适于在制造OLED、OTFT元件的喷墨(ink-jet)方式中形成槽凸起(bank),同时适合用于浮脱(Lift off)用途。
背景技术
在以往的液晶显示器(LCD)制造工序中,使用光蚀刻工序等形成彩色光阻(カラ一レジスト)、电极、布线、半导体(semiconductor)材料。
最近,为了降低显示器的价格,对利用压印(imprinting)形成图案;利用喷墨方式形成彩色光阻、形成可溶性有机半导体(soluble organicsemiconductor);利用浮脱形成可溶性导电性高分子(soluble conductingpolymer)的电极和布线等进行了各种研究。
因此,喷墨中的槽凸起和浮脱材料的界面特性是重要的。换而言之,由于彩色油墨、可溶性有机半导体和可溶性导电性高分子大都具有亲水性,为了使它们在非槽凸起的基材(substrate)上的润湿性(wetting)良好,槽凸起表面的疏水化是重要的。但是,以往使用感光性树脂组合物形成槽凸起时,存在如下问题:由于槽凸起界面与彩色油墨、可溶性有机半导体和可溶性导电性高分子的极性差小,在非基材的槽凸起上产生润湿性,产生不良。
而且,OLED、OTFT制造工序中使用的基材或发光物质不耐热,如现有LCD中那样难以适用高温工序。由于这样的原因,将适用于现有的LCD工序的感光性树脂组合物用于OLED、OTFT制造时,有时会残留过量的残留溶剂,交联密度差,作为膜的基本物性存在问题,这些自不必说,有时还会对基材或发光物质有不良影响。因此,事实上,为了提高即使在150℃(通常的OLED、OTFT制造工序温度)以下的工序条件下也适用于喷墨方式的槽凸起和浮脱材料的疏水化度,更需要对此进行研究。
发明内容
为了解决上述以往技术的问题,本发明的目的在于,提供低温固化性感光性树脂组合物、使用上述低温固化性感光性树脂组合物的显示元件的图案形成方法,该低温固化性感光性树脂组合物不仅感光度、耐热性、耐化学性等性能优异,而且即使在150℃以下的低温工序中膜也具有优异的疏水特性。
此外,本发明的目的在于,提供不仅感光度、耐热性、耐化学性等性能优异而且特别是能够提高在OLED、OTFT元件的制造中适用于喷墨方式的槽凸起和浮脱材料的疏水化度的低温固化性感光性树脂组合物、使用上述低温固化性感光性树脂组合物的显示元件的图案形成方法。
为了实现上述目的,本发明提供低温固化性感光性树脂组合物,其特征在于,在该感光性树脂组合物中含有以下物质:
a)将下述i)、ii)和iii)共聚得到的丙烯酸类共聚物:
i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物,
ii)含环氧基的不饱和化合物,
iii)烯烃类不饱和化合物;
b)1,2-醌二叠氮(1,2-quinonediazide)化合物;
c)以下述化学式1~5中的一个化学式表示的氟类化合物;以及
d)沸点为90~150℃并且当以n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速度为1时蒸发速度为0.3~1.0的溶剂。
[化学式1]
CF3(CF2)nCOOH
上述化学式1中,n为6~10的整数。
[化学式2]
CF3(CF2)nCH2OH
上述化学式2中,n为6~10的整数。
[化学式3]
CF3C(CF3)2CF2CF(CF3)CF2COOH
[化学式4]
(CF3)2CF(CF2)3CF(CF3)CF2COOH
[化学式5]
C11HF17O2
优选本发明含有以下物质:
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