[发明专利]废液分段浓度处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种废液处理系统，特别是涉及一种废液分段浓度处理系统。

背景技术

例，蚀刻制程大都使用含腐蚀性的液体，且为了保持良好的清洗及蚀刻率，必需将腐蚀性液体的浓度控制在固定浓度范围内，因此在制程中所产生的原料废液会含有大量氟离子，而依环保法规定半导体制造业所排放的废水，氟离子浓度不得高于15ppm，才得以排放。

兹因离子态制程水溶液处理过程均有化学-碰撞理论-降解现象，请配合参阅图1所示，是为习知氢氟酸废水加药反应示意图，由图中可清楚得知在处理较高浓度离子态制水溶液时，所添加的反应药剂为常态比例，但当处理至固定低离子浓度时，处理药剂比例为倍数增加，相当浪费药剂，且药剂价格相当昂贵，非常不符成本概念。

由此可见，上述现有的废液处理系统在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的废液分段浓度处理系统，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的废液处理系统存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的废液分段浓度处理系统，能够改进一般现有的废液处理系统，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的废液处理系统存在的缺陷，而提供一种新型的废液分段浓度处理系统，所要解决的技术问题是使其有效减少药剂使用量及可将废液回收再利用，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种废液分段浓度处理系统，是应用于高浓度废液处理，其处理步骤如下：步骤A：将一高浓度废液及要与废液反应的药剂一并导入一高浓度处理单元，藉由该药剂与该高浓度废液沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液；步骤B：将低浓度废液导引至一低浓度处理单元进行吸附作业，以降低废液浓度，并产生一高浓度浓缩再生液；步骤C：将该高浓度浓缩再生液利用一脱附单元脱附后使其提高废液浓度，再导引至该高浓度废液中并重复A-C步骤。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一离子交换树脂吸附材料。

前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一沸石吸附材料。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种废液分段浓度处理系统，是应用于大水量低浓度废液处理，其处理步骤如下：步骤A：将低浓度废液导入该低浓度处理单元进行吸附作业，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液，并产生一高浓度浓缩再生液；步骤B：而该高浓度浓缩再生液则再利用一脱附单元脱附后可提高其废液浓度，再导引至该高浓度废液中；步骤C：再将该高浓度废液及要与废液反应的药剂一并导入该高浓度处理单元，藉由该药剂与该高浓度废液沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液，并重复A-C步骤。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一离子交换树脂吸附材料。

前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一沸石吸附材料。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为达到上述目的，本发明提供了一种废液分段浓度处理系统，是包括有一高浓度废液、一低浓度废液、一高浓度处理单元、一低浓度处理单元、一脱附单元。

该高浓度废液及要与废液反应的药剂一并导入一高浓度处理单元，藉由该药剂与该高浓度废液沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液，再将低浓度废液导引至一低浓度处理单元，使其废液浓度降低至排放标准以下以进行放流或回收；除此经该低浓度处理单元后会产生一高浓度浓缩再生液，将该高浓度浓缩再生液再利用一脱附单元脱附后可提高其废液浓度，最后导引至该高浓度废液中并重复上述步骤，俾能达到废液再生利用及减少药剂使用量的功效。

借由上述技术方案，本发明废液分段浓度处理系统至少具有下列优点及有益效果：

1、本发明将高浓度废液及大水量低浓度废液分段处理，有效减少化学药剂的使用量。