[发明专利]用于寻址MEMS显示器的系统和方法

说明书

技术领域

本发明的技术领域涉及微机电系统(MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器和电子设备。微机械元 件可采用沉积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或 可添加若干层以形成电气和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的 MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中之 一或二者可为部分地透明，且能在施加一个适当的电信号时作出相对运动。 其中一个板可包含一沉积在一衬底上的静止层，另一个板可包含一悬于该静 止层上的金属膜。上述装置具有广泛的应用范围，且在此项技术中，利用及 /或修改这些类型的装置的特性、以使其特性可用于改善现有产品及制造目 前尚未开发的新产品将颇为有益。

发明内容

本发明的系统、方法及装置各具有多个方面，任一单个方面均不能单独 决定其所期望属性。现将对其更突出的特性作简要说明，此并不限定本发明 的范围。在考虑这一论述，尤其是在阅读了题为“具体实施方式”的部分之 后，人们即可理解本发明的特征如何提供优于其他显示装置的优点。

在一实施例中，提供了一显示器。所述显示器包括复数个光调制元件， 这些光调制元件中至少有一些光调制元件具有不同的与寻址脉冲宽度和寻 址脉冲电压电平之一或二者相对的偏转值。还提供了寻址电路，所述寻址电 路被配置以向复数个元件提供具有不同宽度和/或电压电平的寻址脉冲，以 使不同的元件组合根据寻址脉冲的宽度和/或电压电平以一可选方式进行切 换，且其中所述寻址电路被配置以提供一所述复数个元件中的全部元件均对 其响应的第一脉冲和所述复数个元件中的不足全部的元件对其响应的至少 一第二脉冲。

在另一实施例，提供了一显示器。所述显示器包括复数个排列成行的 MEMS元件，其中将每行的MEMS元件进一步排列成若干子行，且其中使 每行的若干子行经电连接。在此实施例中，还提供了复数个电阻器，所述电 阻器中的每一个分别被连接到所述若干子行中的各子行，用于各行的各个子 行的电阻器中的各电阻器具有一不同于连接到该行的其他子行的电阻器的 电阻。

在另一实施例中，一种寻址复数个显示元件的方法，所述复数个显示元 件具有至少一第一和第二显示元件且其特征在于各自的响应阈值，所述方法 包括：产生一第一脉冲，所述第一脉冲的特征在于其具有一参数，该参数的 值大于全部所述复数个显示元件的响应阈值；和将所述第一脉冲施加到所述 复数个显示元件。此外，产生一第二脉冲，所述第二脉冲的特征在于其具有 一参数，该参数的值大于所述第一显示元件的响应阈值且小于所述第二显示 元件的响应阈值。将所述第二脉冲施加到所述复数个显示元件。

在另一实施例中，一种寻址复数个显示元件的驱动电路，所述复数个显 示元件具有至少一第一和第二显示元件且其特征在于各自的响应阈值，所述 驱动电路包括：用于产生一第一脉冲的构件，所述第一脉冲的特征在于其具 有一参数，该参数的值大于全部所述复数个元件的响应阈值；和用于将所述 第一脉冲施加到所述复数个显示元件的构件。所述驱动电路还包括：用于产 生一第二脉冲的构件，所述第二脉冲的特征在于其具有一参数，该参数的值 大于所述第一显示元件的响应阈值且小于所述第二显示元件的响应阈值；和 用于将所述第二脉冲施加到所述复数个显示元件的构件。

另一实施例包括一装置。所述装置包含复数个用于调制光的构件，所述 调制构件对于一选定的施加电压具有不同的偏转值。所述显示器进一步包含 寻址构件，用于向所述复数个元件提供具有不同电压电平的寻址脉冲，以使 不同的调制构件组合根据寻址脉冲的电压电平以一可选方式进行切换。所述 寻址构件被配置以提供所述复数个元件的全部调制构件均对其响应的一第 一脉冲和不足全部的所述调制构件对其响应的至少一第二脉冲。

另一实施例包含一种制造一显示器的方法。所述方法包含提供复数个排 列成行的MEMS元件。每行的MEMS元件进一步排列成若干子行。电连接 每行的若干子行。所述方法还包含将复数个电阻器连接到MEMS元件。将 每个电阻器连接到所述若干子行中的各子行。用于各行的各个子行的电阻器 中的各电阻器各自具有一不同于连接到该行的其他子行的电阻器的电阻。