[发明专利]利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生成器

权利要求书

1.一种能够利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生 成器，包括：

同轴电缆，所述同轴电缆包括：

第一内导体，以及

介电材料，环绕所述第一内导体；

外导体，环绕所述同轴电缆；

连接导体，包括至少一个进气管，并且所述连接导体在所述同轴 电缆的一端电连接于所述第一内导体和所述外导体之间；

释放梢，所述释放梢位于所述同轴电缆的另一端，在所述同轴电 缆上释放等离子体；以及

连接部，包括第二内导体，所述第二内导体穿过径向限定在所述 外导体中的孔并与设置在所述外导体中的所述第一内导体连接，

其中，通过所述第二内导体向所述同轴电缆施加微波，以及

通过调整所述第一内导体和所述连接部的所述第二内导体相互接 触的馈送点的位置，在微波振荡器和所述微波等离子体生成器之间容 易地实现阻抗匹配，其中微波振荡器通过所述第二内导体向所述同轴 电缆施加微波。

2.如权利要求1所述的便携式微波等离子体生成器，其中所述介 电材料是空气，是引入惰性气体的空间。

3.如权利要求2所述的便携式微波等离子体生成器，其中所述惰 性气体为选自氦和氩组成的组中的一种。

4.如权利要求2所述的便携式微波等离子体生成器，其中所述微 波的频率为900兆赫兹或2.45千兆赫兹。

5.如权利要求2所述的便携式微波等离子体生成器，其中所述同 轴电缆的长度为微波波长的四分之一或四分之三。

6.如权利要求2所述的便携式微波等离子体生成器，其中所述同 轴电缆的长度为微波波长的四分之一的任意倍数或四分之三的任意倍 数。

7.如权利要求1所述的便携式微波等离子体生成器，其中，所述 同轴电缆包括至少两个部分，所述两个部分能够以调整所述同轴电缆 长度的方式相互附接或分离，或者能够以调整所述同轴电缆长度的方 式相对于彼此滑动。

8.如权利要求4所述的便携式微波等离子体生成器，其中，当微 波的频率是900兆赫兹时，所述释放梢和所述第一内导体之间的间隔 是40μm。

9.如权利要求4所述的便携式微波等离子体生成器，其中，当微 波的频率是2.45千兆赫兹时，所述释放梢和所述第一内导体之间的间 隔是100μm。