[发明专利]钛酸锶钡与多孔硅复合材料及其制备方法

权利要求书

1.钛酸锶钡与多孔硅复合材料的制备方法，其特征是：制备方法包括如下步骤：

(1)制备衬底材料多孔硅：将电阻率0.015Ω·cm的P型单晶硅片置入高压釜，填充由浓度介于8.00～22.00mol/l的氢氟酸(HF)和0.01～0.50mol/l的硝酸铁(Fe(NO₃)₃)溶液组成的腐蚀液，高压釜的溶液体积填充度为40～95％，在温度50～200℃下腐蚀1分钟～36小时，即制备出衬底材料多孔硅；

(2)制备钛酸锶钡溶胶；

(3)用匀胶机将钛酸锶钡溶胶旋涂在新鲜制备的多孔硅衬底上，经过100～700℃温度和一定保护气体气氛下退火，即得到传感、发光和介电特性可调的钛酸锶钡与多孔硅复合材料。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述的钛酸锶钡溶胶以醋酸钡、醋酸锶、钛酸四丁酯和乙酰丙酮为原料，采用溶胶-凝胶方法制得，其制备方法包括如下步骤：

(1)将醋酸钡和醋酸锶以摩尔比0.7∶0.3的比例溶解在600℃的冰醋酸中，并加少量去离子水以促进溶解过程；

(2)按钛酸四丁酯与乙酰丙酮的摩尔比为1∶2的比例，将钛酸四丁酯缓缓地加入到乙酰丙酮溶液中，充分搅拌，使混合均匀，直到溶液冷却到室温，以形成稳定的钛盐配合物；

(3)按照醋酸钡∶醋酸锶∶钛酸四丁酯∶乙酰丙酮的摩尔比＝0.7∶0.3∶1∶2的比例，将上述钛酸四丁酯与乙酰丙酮的混合溶液逐滴加入到步骤(1)所述的醋酸钡和醋酸锶的混合溶液中，边加边搅拌，直至混合均匀；

(4)往溶液中加入0.1～5mL的甲酰胺做抗裂剂，然后

(5)加入乙二醇甲醚将溶液稀释，直到BST的浓度为0.001～1.0mol/L；

(6)将步骤(5)的混合溶液在抽滤瓶中过滤，获得淡黄色透明的钛酸锶钡溶胶。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述旋涂工艺为：低速旋涂条件为400～2000转/分钟，旋涂1～30秒；高速旋涂条件为2000～6000转/分钟，旋涂10秒～1分钟。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述保护气体为氧气、氮气、氩气、氢气或其他惰性气体。

5.用权利要求1所述制备方法制备的钛酸锶钡与多孔硅复合材料。