[发明专利]用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法

权利要求书

1.一种用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，包括：基板、底部导电膜层、 第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层及第四导电 膜层；底部导电膜层设在基板上，其作为栅极、栅极布线及公共电极的导电 膜层；第一绝缘膜层，其覆盖在底部导电膜层的上方；所述的半导体非晶硅 膜层覆盖在第一绝缘膜层上；所述的第二导电膜层作为源极和漏极的导电膜 层，所述的第二导电膜层部分覆盖在所述的半导体非晶硅膜层上；所述的第 二层绝缘膜层覆盖在所述的第一绝缘膜层、所述的半导体非晶硅膜层、所述 的第二导电膜层的上方；所述的第四导电膜层作为像素电极和保持电极的导 电膜层；其特征在于：还进一步包括有机流平膜层，所述的有机流平膜层覆 盖在第二绝缘层上。

2.如权利要求1所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 其还进一步包括有保护膜层，所述的保护膜层全面覆盖在显示区域内的像素 电极、保持电极和第四导电膜层的上方。

3.如权利要求1或2所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征 在于：所述的第一绝缘膜层和所述的第二绝缘膜层上设有第一导通孔，所述 的第一导通孔位于所述栅极布线、所述公共电极及所述的漏极的上方。

4.如权利要求3所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 其还进一步包括有第三导电膜层，所述的第三导电膜层覆盖在所述第一导通 孔下方的所述底部导电膜层或所述第二导电膜层上方。

5.如权利要求3所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 所述的有机流平膜层覆盖在所述第二绝缘膜层上方，使基板表面平整，所述 的有机流平膜层上设有第二导通孔，所述的第二导通孔位于所述的第一导通 孔上方。

6.如权利要求5所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 所述第四导电膜层覆盖在所述有机流平膜层和所述第三导电膜层的上方，使 所述第四导电膜层通过所述第二导通孔、所述第三导电膜层、所述第一导通 孔与所述公共电极和所述漏极导通。

7.如权利要求1或2所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征 在于：所述底部导电膜层为金属膜层或金属合金膜层。

8.如权利要求3所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 所述第二导电膜层为金属膜层或金属合金膜层。

9.如权利要求4所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在于： 所述第三导电膜层为透明氧化铟锡导电膜层。

10.如权利要求1或2所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特 征在于：所述有机流平膜层材料为透明有机光刻材料。

11.如权利要求1或2所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特 征在于：所述第四导电膜层为金属膜层或金属合金膜层时，所述薄膜晶体管 基板用于做反射式电润湿显示装置；所述第四导电膜层为透明氧化铟锡导电 膜层时，所述薄膜晶体管基板用于透射式电润湿显示装置。

12.如权利要求5所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在 于：所述第四导电膜层通过所述第二导通孔、所述第三导电膜层、所述第一 导通孔与所述公共电极导通形成保持电极；所述第四导电膜层通过所述第二 导通孔、所述第三导电膜层、所述第一导通孔与所述漏极导通，形成像素电 极；作为保持电极和像素电极的所述第四导电膜层分别间隔设置。

13.如权利要求2所述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其特征在 于：所述保护膜层材料为一层二氧化硅材料。