[发明专利]用于太阳能电池的透明导电基板

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的透明导电基板，包括透明基底，其特征在于，所述的用于太阳能电池的透明导电基板还包括依次叠加在所述透明基底上的氧化硅层、掺氟的氧化锡层及优化透光率的金属氧化物层。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述掺氟的氧化锡层为从邻接所述氧化硅层的一侧梯次增量地掺杂氟。

3.根据权利要求1或2所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述掺氟的氧化锡层中与所述透明基底相反一侧的表面氟浓度相对氧化锡为2mol％～4mol％；或所述掺氟的氧化锡层的厚度为400nm～599nm；或掺氟的氧化锡层面电阻为7Ω/□～15Ω/□。

4.根据权利要求1或2所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述掺氟的氧化锡层中与所述透明基底相反一侧的表面氟浓度相对氧化锡为2.5mol％～3mol％；或所述掺氟的氧化锡层的厚度为500nm～599nm；或掺氟的氧化锡层面电阻为9Ω/□～11Ω/□。

5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述掺氟的氧化锡层在300nm～1200nm的波长范围内的透光率＞81％；或雾度为10％～30％。

6.根据权利要求1或2所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述掺氟的氧化锡层的掺氟浓度在邻接氧化硅层一侧为1mol％。

7.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述优化透光率的金属氧化物层的折射率大于2.0。

8.根据权利要求1或2或7所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述金属氧化物为氧化钛、氧化铟和氧化锌中的一种或两种以上。

9.根据权利要求1或2或7所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述优化透光率的金属氧化物层的厚度为21～40nm。

10.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的透明导电基板，其特征在于，所述优化透光率的金属氧化物层与所述掺氟的氧化锡层相反一侧的表面为凹凸的绒面结构。