[发明专利]光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪

权利要求书

1.光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，其特征在于：它包括光源、Y型光耦合器、第二光耦合器、第三光耦合器、移相器、第四光耦合器、光电探测器、检测与控制系统和振梁式硅微机电陀螺本体；光源的尾纤和Y型光耦合器的一根光纤熔接，Y型光耦合器的另一根光纤与第二光耦合器的入纤熔接，第二光耦合器的两根出纤分别与移相器和第三光耦合器入纤熔接，移相器与第四光耦合器入纤熔接，光电探测器的入纤分别与第三光耦合器和第四光耦合器的出纤熔接；Y型光耦合器的尾纤固定，光源发出的光从Y型光耦合器的一端进入，在Y型光耦合器的尾纤端面镀膜形成反射镜，使出射光在该端面发生部分反射和透射；在振梁上做微镜形成反射面用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器用于探测干涉条纹，该干涉条纹因微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光具有不同光程差，在经Y型光耦合器汇合产生干涉而形成，光电探测器信号输出端与检测与控制系统信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，其特征在于：所述检测与控制系统包括高频信号采集与位相检测电路和光源驱动电路，光源驱动电路输出高稳定的恒流信号给光源。

3.根据权利要求2所述的光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，其特征在于：所述高频信号采集与位相检测电路按信号走向包括前置放大滤波电路、模拟放大电路、滤波电路、A/D转换器、CPU高频采样电路、位相比较器和逻辑控制电路，光电探测器输出的模拟电信号经前置放大滤波电路、模拟放大电路和滤波电路处理后在A/D转换器内转换为数字信号，经CPU高频采样和计算后输入位相比较器进行位相比较，从而得到角速度大小与方向，逻辑控制电路为数据采样提供相应的时序控制、地址译码和数据锁存。

4.根据权利要求1或2或3所述的光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，其特征在于：所述Y型光耦合器的尾纤端面镀膜以控制反射量，使微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光强度相当。