[发明专利]有机玻璃镀镍的方法

权利要求书

1.有机玻璃镀镍的方法，在真空条件下对有机玻璃镀镍，其特 征在于：它包括一在真空镀镍前对有机玻璃表面的改性步骤，所述的 改性步骤是将有机玻璃置于真空室内，用离子轰击有机玻璃表面；

所述的对有机玻璃镀镍是先将经改性步骤得到的表面改性有机 玻璃于磁控溅射-真空蒸镀复合镀膜机的真空室中进行磁控溅射镀 镍，然后加热有机玻璃表面温度为50℃～60℃并采用真空蒸镀的方 法继续镀镍；

所述改性步骤前，将有机玻璃放入洗净溶液中浸泡，然后分别 用自来水和纯净水冲洗干净，再烘干。

2.根据权利要求1所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述真空室的镍靶材的厚度为5mm～7mm。

3.根据权利要求2所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述镍靶材的长为700mm～1000mm，宽为150mm～300mm。

4.根据权利要求2所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述真空室中的磁体为钕铁硼强磁体和锶铁氧体，所述真空磁控溅射 镀镍室中的水冷方式采用间接水冷却方式，水冷背板为钛板。

5.根据权利要求4所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述真空室中的磁路布局为：中间安装连接有条状的钕铁硼强磁体， 磁场强度为500Gs～600Gs；四周安装连接有环状的锶铁氧体，磁场 强度为200Gs～350Gs。

6.根据权利要求1所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述的用离子轰击有机玻璃表面是在真空室内安装一铝棒，将真空室 抽真空至4×10^-2Pa以下，再充入氩气至2.1Pa～2.3Pa，开启轰击 电源轰击有机玻璃表面2～4min。

7.根据权利要求1所述的有机玻璃镀镍的方法，其特征在于： 所述的用离子轰击有机玻璃表面是在真空室内安装一铝棒，将真空室 抽真空至4～6Pa，直接开启电源轰击有机玻璃表面5～6min。