[发明专利]一种用于对抛光垫进行修整的修整装置

权利要求书

1.一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，自转电机(8)输出端与第二同步带轮(6)连接，并通过同步带(7)带动第一同步带轮(5)转动，第一同步带轮(5)中心处依次安装可旋转部件(3)、万向节(2)以及最终执行件(1)，最终执行件(1)由自转电机(8)通过同步带(7)驱动旋转，万向节(2)传递扭矩和下压力的同时实现修整盘(14)的自适应，保证修整盘(14)平行于抛光垫；在自转电机(8)下方设置摆动电机(9)，将自转电机(8)外壳与可摆动悬臂(4)在摆动支点处固连，摆动电机(9)驱动可摆动悬臂(4)带动最终执行件(1)在抛光垫表面径向做往复摆动；调节气缸(11)通过滚动导轨(10)与修整装置连接，调节气缸(11)调节压力实现修整时修整盘(14)上下微动以适应抛光垫旋转时的跳动并保持一定范围内的下压力，不修整时抬起修整盘(14)离开抛光垫。

2.根据权利要求1所述的一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，所述滚动导轨(10)和气缸(11)的组合，在功能上提供最终执行件(1)的升降和对抛光垫的施压，并通过测气压得到下压力值；在结构上作为承载件，气缸(11)承受轴向的力，滚动导轨(10)承受其余的力、弯矩和扭矩，保证了运动的平稳性以及压力测量的精度。

3.根据权利要求1所述的一种用于对抛光垫进行修整的修整装置，其特征在于，所述可摆动悬臂(4)通过第一轴承(12)和第二轴承(13)将轴向力、径向力和弯矩传到滚动导轨(10)上，摆动电机(9)只输出扭矩，不承受轴向力、径向力和弯矩。