[发明专利]基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量方法与装置

权利要求书

1.基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量方法，其特征在于：

①平行光透过偏振分光镜(1)、1/4波片(2)，经过物镜(3)会聚到被测样品(5)；光线经过被测样品(5)反射后，通过物镜(3)、1/4波片(2)和偏振分光镜(1)进入差动共焦瞄准触发系统(6)；

②两端固支的谐振梁(4)带动物镜(3)在光轴方向做高速振动扫描，差动共焦响应曲线上的零点(23)对应物镜(3)聚焦到被测样品(5)的表面；

③通过差动共焦瞄准触发系统(6)探测零点(23)来测量与其对应的物镜(3)的振动位置，其值记为a，为瞄准点对应被测样品(5)表面的高度值。

2.根据权利要求1所述的基于谐振扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量方法，其特征在于：还可以在光路中加入超分辨光学系统(15)，可放置在偏振分光镜(1)前面，也可放置在偏振分光镜(1)与差动共焦瞄准触发系统(6)之间，用于提高差动共焦瞄准触发系统的横向分辨力。

3.根据权利要求1所述的基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量方法，其特征在于：被测样品(5)为透明或半透明物体时，物镜(3)还可以聚焦到被测样品(5)内表面。

4.基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量装置，包括光源(14)，其特征在于：还包括偏振分光镜(1)、1/4波片(2)、物镜(3)、两端固支谐振梁(4)、位移测量系统(17)和差动共焦瞄准触发系统(6)；其中偏振分光镜(1)、1/4波片(2)和物镜(3)依次放在光源(14)出射光线方向，差动共焦瞄准触发系统(6)放置在偏振分光镜(1)反射方向；被测样品(5)与偏振分光镜(1)将光束反射至差动共焦瞄准触发系统(6)，两端固支谐振梁(4)配合物镜(3)、差动共焦瞄准触发系统(6)和位移测量系统(17)实现被测样品(5)外表面或内表面的形貌测量。

5.根据权利要求4所述的基于谐振梁扫描的差动共焦瞄准触发式显微测量装置，其特征还在于：还可以在光路中加入超分辨光学系统(15)，可放置在光源(14)与偏振分光镜(1)之间，也可放置在偏振分光镜(1)与差动共焦瞄准触发系统(6)之间。